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1.
CeO2由于其适当的机械性能及高的化学活性,更重要的是其对Si3N4/SiO2的高选择性去除,使其被广泛应用于浅槽隔离化学机械抛光工艺中。本文论述了CeO2基抛光液的抛光机制的研究进展,从CeO2磨料的形貌尺寸、晶体结构、力学性能方面分析了磨料性质对抛光性能的影响,并进一步讨论了CeO2基研磨颗粒及相关辅助抛光技术在CMP应用上的研究进展。以此为CeO2基磨料的可控制备及新型抛光技术的发展提供借鉴,并希望能够促进CeO2基研磨颗粒在抛光工艺中作用机制的揭示,使CeO2抛光液更广泛地应用于材料的平坦化处理中。  相似文献   
2.
3.
单良  查婷婷  孔明  洪波 《光学学报》2022,(2):250-259
韦伯分布在非线性寻优问题中具有较好的寻优精度和全局搜索能力,为此提出一种基于韦伯分布的布谷鸟搜索(WCS)算法来解决颗粒粒径分布反演的问题。使用WCS算法对服从Johnson’s SB分布、Rosin-Rammler分布和正态分布的单峰颗粒系和双峰颗粒系进行颗粒粒径分布的反演,并分别与其他传统算法的处理结果进行比较。结果表明,WCS算法的整体效果优于人工鱼群算法和人工蜂群算法,且改进后的4种重尾分布CS算法的标准差比原CS算法提升2~3个数量级。目标函数散射光能加入噪声后,WCS算法比其他三种重尾分布的相对均方根误差值至少可降低1/2。使用小角前向散射测量系统对单峰颗粒系和双峰混合颗粒系进行实验研究,发现WCS算法的相对均方根误差比原CS算法降低约为40%。  相似文献   
4.
Au/SiO2纳米复合薄膜的微结构及光吸收特性研究   总被引:5,自引:2,他引:3       下载免费PDF全文
用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO2纳米多层薄膜.利用透射电子显微镜以及吸收光谱对Au/SiO2复合薄膜的微观结构、表面形貌及光学性能进行了表征和测试.研究结果表明:单层Au/SiO2薄膜中Au沉积时间小于10s时,分散在SiO2中的Au颗粒随Au的沉积时间的延长而增大;当沉积时间超过10s后,Au颗粒的尺寸几乎不随沉积时间变化,但Au颗粒的形状由网络状结构变为薄膜状结构.[Au(t1)SiO2(600)]×5多层薄膜在540-560nm波长附近有明显的表面等离子共振吸收峰,且吸收峰的强度随Au的沉积时间增加而增强.基于修正后的Maxwell-Garnett (M-G)有效媒质理论,讨论了金属颗粒的形状对等离子共振吸收峰的峰位和强度的影响.模拟的吸收光谱与实验吸收光谱形状、趋势及吸收峰位相符合.  相似文献   
5.
超尺寸物品装箱问题及其算法   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文探讨一类新装箱问题-超尺寸物品装箱问题。针对实际解决该问题的两涉法,我们提出了一个评价效率更高的目标函数,证明了在此目标函数下两步法的渐近最坏比不小于2,并给出了渐近量坏比与拆分次数的关系。最后本文提出了一种不同于两步法的新在线算法MA,证明了在新目标函数下其渐近最坏比不超过7/4。  相似文献   
6.
Au/SiO2纳米多层薄膜的制备及其性质表征   总被引:4,自引:2,他引:2       下载免费PDF全文
利用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO2纳米颗粒分散氧化物多层复合薄膜.研究了在保持Au单层颗粒膜沉积时间一定时薄膜厚度一定、变化SiO2的沉积时间及SiO2的沉积时间一定而改变薄膜厚度时,多层薄膜在薄膜厚度方向的微观结构对吸收光谱的影响.研究结果表明:具有纳米层状结构的Au/SiO2多层薄膜在560nm波长附近有明显的表面等离子共振吸收峰,吸收峰的强度随Au颗粒的浓度增加而增强,在Au颗粒浓度相同的情况下,复合薄膜光学吸收强度随薄膜厚度的增加而增强.但当金属颗粒的浓度增加到一定程度时,金属颗粒相互接触,没有观察到纳米层状结构,薄膜不显示共振吸收峰特征.用修正后的M-G(Maxwell-Garnett)理论对吸收光谱进行了模拟,得到了与实验一致的结果.  相似文献   
7.
利用再沉淀法分别制备出了小尺寸(~10nm)纯相和杂相的Eu3+配合物荧光纳米颗粒。所制备的纯相的荧光纳米颗粒在水溶液中容易聚集,并且荧光猝灭严重。相比较而言,掺有适量疏水性硅烷的杂相纳米颗粒则具有较强的荧光、均匀的尺寸和良好的分散性。硅烷在碱性环境下(pH=9)迅速地水解,而后在纳米微粒的表面形成二氧化硅薄层。亲水的二氧化硅薄层消除了Eu3+配合物纳米颗粒间的疏水相互作用,进而防止了纳米颗粒的聚集,从而导致了杂相荧光纳米颗粒发光性能的提高。  相似文献   
8.
We investigate the nuclear shadowing effect on the K factor in the Drell-Yan process by introducing a Shadowing factor into the corresponding quantum chromodynamical αs order corrections.K factors for Au-Au collisions are calculated at the centre-of-mass system energies √s=60,130 and 200 GeV while the nuclear shadowing factor is taken into account.The numerical results indicate that the nuclear shadowing factor obviously raises the K value in the small x region,and for the same nucleon the K valus becomes smaller as the energy increases.The nuclear shadowing effect could be one reason for creating the non-constancy of the K factor.  相似文献   
9.
Au-Au2S复合纳米球壳微粒的空腔谐振及参量讨论   总被引:2,自引:0,他引:2  
宋岩  席聪  陈光德  刁佳杰  景轩 《光学学报》2002,22(11):392-1395
Au-Au2S复合纳米球壳微粒(金纳米球壳),是一种新型复合结构的纳米微粒,其结构为纳米级的Au2S介质球外包裹了一层几个纳米厚的黄金球壳。这种复合纳米球壳微粒可以被抽象为球型谐振腔。报道了它的空腔谐振吸收的实验结果,并且运用经典理论结合介观结构特征,讨论了有关Au-Au2S复合纳米球壳微粒空腔谐振吸收的一些重要参量,其中包括谐振吸收波长、品质因数、谐振能量等。另外,还讨论了金球壳的厚度对这些重要参量的影响。  相似文献   
10.
简单回顾了Einstein 1905年揭示的第一种波粒二象性(光的波粒二象性)与de Broglie 1923年揭示的第二种波粒二象性(实物粒子的波粒二象性)及其实验验证过程,指出了这两种波粒二象性的本质差别,分析了波粒二象性的逻辑体系并指出:只要把Gan1995年揭示的“经典(电磁)场在结构上的颗粒性”当作“第三种波粒二象性”就能构成“三种波粒二象性”的完美组合,利用“波粒二象性的相变假说”还可以把这“三种波粒二象性”和谐地统一起来。借助于经典条件下光的经典理论与量子理论究竟哪一个更为精确的实验判决(见《光散射学报》)2006年第1期第75.79页《Lorentz-Compton佯谬与一个双赢判决性散射实验设计》)还可以完成“第三种波粒二象性”和“波粒二象性的相变假说”的实验验证。  相似文献   
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