Low-Temperature Growth of Polycrystalline silicon Films by SiCl4／H2 rf Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition

Polycrystalline silicon film was directly fabricated at 200℃ by the conventional plasma enhanced chemical vapour deposition method from SiCl4 with H2 dilution. The crystallization depends strongly on the deposition power.The maximum crystMlinity and the crystalline grain size are over 80% and 200—50Onm, respectively. The results of energy dispersive spectroscopy and infrared spectroscopy measurements demonstrate that the film is mostly composed of silicon, without impurities such as Cl, N, C and bonded H. It is suggested that the crystallization at such a low temperature originates from the effects of chlorine, i.e., in-situ chemical, etching, in-situ chemical cleaning, and the detachment of bonded H.     

新型三元素协同阻燃剂的合成及性能研究

以三溴苯基环氧丙基醚、四氯化硅及1,3-二氯丙醇为主要原料合成新型硅、氯、溴三元素协同高效阻燃剂硅酸三（二氯丙基）三溴苯氧基氯丙基酯。探讨了反应温度、时间及物质的量比对产率的影响,最适宜的工艺条件为：三溴苯基环氧丙基醚与四氯化硅及1,3-二氯丙醇物质的量比为1:1:3.5,100℃反应5h,产率达98.0%。并采用FTIR、1H-NMR、极限氧指数等方法表征了产品的分子结构及阻燃性能等。     

无定形硅的制备及其性能研究

随着非晶硅半导体材料研究的发展,人们发现非晶硅能够吸收18-50原子％的氢。这一结果引起了储氢材料研究者的极大兴趣.1978年,德国的Winstel首次用非晶硅来储存氢,并申请了用非晶硅作为储氢材料的专利.随后,日本、美国、德国的许多研究者相继开展了这方面的工作。     

新型TiCl_4/Ni(acac)_2复合催化剂乙烯聚合反应

制备了 Ti Cl4/ Ni(acac) 2 / Mg Cl2 -Si O2 -Zn Cl2 / Al R3复合催化剂 .研究了促进剂四氯化硅 (Si Cl4)和各种聚合条件对乙烯聚合的影响及其表观聚合动力学 .用 DSC、IR、1 3C NMR对聚合产物进行了结构性能的分析和表征 .结果表明 ,促进剂 Si Cl4有很好的提高催化效率的作用 ;Ti Cl4/ Ni(acac) 2 复合催化剂有催化乙烯齐聚和原位共聚功能 ,获得了熔点和结晶度较低的、有一定支化度的中、低密度聚乙烯 .     

气相色谱法测定四氯化硅的纯度

提出了气相色谱法测定四氯化硅的纯度。采用LD-SE-54(0.53 mm×30 m,1.2μm)石英毛细管色谱柱分离,热导检测器检测,面积归一化法定量。方法用于分析四氯化硅标准样品,测定值与标准值的相对误差为0.18%,相对标准偏差(n=5)为0.12%。     

大孔树脂吸附法回收三氯氢硅生产过程中的尾气

三氯氢硅生产工艺中产生大量尾气,主要成分氢气、氯化氢、氯硅烷,如果直接排放不但污染环境,而且造成资源的浪费。用树脂吸附法对尾气进行回收并再利用,具有较大的工业应用前景。在Ф10×380mm玻璃吸附柱内,用型号为A1、A2、A3的3种大孔树脂,进行了吸附和解吸性能研究。结果表明,A1树脂性能最优。最佳吸附工艺条件为:温度20℃,尾气流量5L/h,吸附时间2.8h。解吸过程的最佳工艺条件:温度110℃,氮气流量7.5L/h,时间1.5h。     

新型含氯、溴的硅酸酯阻燃剂的合成及性能研究

以三溴苯基环氧丙基醚、四氯化硅及1,3-二氯丙醇为主要原料合成新型含硅、氯、溴三元素的协同高效阻燃剂硅酸三(二氯丙基)三溴苯氧基氯丙基酯。探讨了反应温度、时间及投料比对产率的影响,合适的工艺条件为:三溴苯基环氧丙基醚、四氯化硅及1,3-二氯丙醇的摩尔比为1∶1∶3.5,100℃反应5h,产率达98.0%。用FT-IR、1H NMR表征了产物的结构,并用极限氧指数方法测试了产物的阻燃性能等。     

FT—IR法测量高纯四氯化硅中的微量三氯氢硅

应用傅立叶变换红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）技术和自制１０ｃｍ光程的不锈钢液体池，建立了光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的定量分析方法。该法具有安全，简便，灵敏和重复性好的特点。