光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的气相色谱分析

采用石英毛细管柱与氩检测器相联结的气相色谱方法定量检测高纯的光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅等含氢杂质。该方法简单、可靠,三氯氢硅的检测下限达０．１×１０￣（－６）Ｗ／Ｗ。     

FT－IR法测量高纯四氯化硅中的微量三氯氢硅

应用傅立叶交换红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）技术和自制１０ｃｍ光程的不锈钢液体池，建立了光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的定量分析方法。该法具有安全、简便、灵敏和重复性好的特点。