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81.
铜在氨水介质铁氰化钾抛光液中CMP的电化学行为研究   总被引:3,自引:1,他引:2  
胡岳华  何捍卫  黄可龙 《电化学》2001,7(4):480-486
应用电化学测试技术研究了介质浓度(包括pH值)和成膜剂浓度对铜表面成膜及铜抛光过程的影响,探讨了成膜厚度及其致密性与抛光压力、抛光转速的关系,考察了压力及转速对抛光过程的作用,找出影响抛光过程及抛光速率的电化学变量。用腐蚀电位及腐蚀电流密度的变化解释了抛光过程的电化学机理,通过成膜速率及除膜速率的对比得出抛光过程的控制条件。证明了在氨水溶液介质中、以铁氰化钾为成膜剂、纳米γ-Al2O3为磨粒的抛光液配方是可行的,其抛光控制条件为压力10psi、转速300r/min。  相似文献   
82.
非接触式光纤传感器因其抗干扰性强、灵敏度高、电绝缘性好等特点在某些场合占有不可替代的位置.本文介绍了一种用于检测大型涡轮机液压轴承运动状态及其周围油膜厚度分布情况的光纤传感器系统.详细讨论了传感器的结构及数据模型,并着重介绍了系统的几个重要组成部分,其中包括双光路、调制解调和并行数据采集等,最后给出了传感器的特性测试数据.  相似文献   
83.
84.
给出一个不属于Non-D的图,但该图却不是(Dm,m)-可选择的.这表明在Tuza Zs和Voigt M的Non-D定义和(Dm,m)-可选择图的特征化定理中存在一定的冲突.针对如上冲突,对Tuza Zs和Voigh M所给出的Non-D的定义,以及(Dm,m)-可选择图的特征化定理的证明进行了修正.  相似文献   
85.
1.重、难点分析 引入向量研究几何是几何代数化的需要.它一方面能使我们了解一些近代数学知识.开拓视野;另一方面,为解决立体几何中某些用传统的纯几何方法解决时技巧性大、随机性强的问题提供一些通法,降低了解题难度.  相似文献   
86.
本文采用有限容积法对制冷剂喷射冷却(Cryogen spray cooling,CSC)过程进行了数值分析,研究了皮肤组织温度场随时间、空间的分布规律,初步分析了喷射过程中可能发生的冷损伤.探讨了不同喷嘴距离对于喷射换热过程的影响.结果表明:本文的模拟结果定性符合文献中的试验结果;由于制冷剂喷射不均匀性带来的冷保护不足问题可以通过适当延长冷却时间(如大于80 ms)加以避免;低温制冷剂带来的冷损伤仅局限于浅表皮层,不会对人体造成伤害;喷射距离对于整个换热过程的影响非常有限,可以较为自由地布置喷嘴位置.  相似文献   
87.
阻尼材料在飞机炮振减振上的应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
在飞机炮舱区应用新型阻尼材料LJ5,组成一个全新的阻尼结构系统来吸收由航炮射击时产生的冲击能量,改善其炮击的振动环境.可使炮舱区的动应力下降约30%.  相似文献   
88.
89.
本文给出了拟贯穿剖分△qc下的平面区域D上的样条函数空间Sku(△qc,D)的基底。  相似文献   
90.
Effects of polarization and p-type GaN resistivity on the spectral response of InGaN/GaN multiple quantum well(MQW) solar cells are investigated. It is found that due to the reduction of piezoelectric polarization and the enhancement of tunneling transport of photo-generated carriers in MQWs, the external quantum efficiency(EQE) of the solar cells increases in a low energy spectral range(λ 370 nm) when the barrier thickness value decreases from 15 nm to 7.5 nm. But the EQE decreases abruptly when the barrier thickness value decreases down to 3.75 nm. The reasons for these experimental results are analyzed. We are aware that the reduction of depletion width in MQW region, caused by the high resistivity of the p-type GaN layer may be the main reason for the abnormally low EQE value at long wavelengths(λ 370 nm).  相似文献   
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