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71.
72.
研究了HfN/HfO2高K栅结构p型金属-氧化物-半导体(MOS)晶体管(MOSFET)中,负 偏置-温度应力引起的阈值电压不稳定性(NBTI)特征.HfN/HfO2高K栅结构的等效 氧化层厚度(EOT)为1.3nm,内含原生缺陷密度较低.研究表明,由于所制备的HfN/HfO2 高K栅结构具有低的原生缺陷密度,因此在p-MOSFET器件中观察到的NBTI属HfN/HfO2高K栅结构的本征特征,而非工艺缺陷引起的;进一步研究表明,该HfN/HfO2高K栅结构中观察到的NBTI与传统的SiO2基栅介质p-MOSFET器件中观察 到的NBTI具有类似的特征,可以被所谓的反应-扩散(R-D)模型表征: HfN/HfO2 栅结构p-MOSFET器件的NBTI效应的起源可以归为衬底注入空穴诱导的界面反应机理,即在负 偏置和温度应力作用下,从Si衬底注入的空穴诱导了Si衬底界面Si-H键断裂这一化学反应的 发生,并由此产生了Si+陷阱在Si衬底界面的积累和H原子在介质层内部的扩散 ,这种Si+陷阱的界面积累和H原子的扩散导致了器件NBTI效应的发生.
关键词:
高K栅介质
负偏置-温度不稳定性(NBTI)
反应-扩散(R-D)模型 相似文献
73.
双层散射介质的单次后向散射光谱分析 总被引:7,自引:4,他引:3
从上皮组织的结构特点出发,基于米氏(Mie)散射理论,建立了双层散射介质的单次后向散射光谱的理论模型,该模型通过偏振门屏蔽来自下层的噪声背景,只保留来自上层的单次散射光。计算分析了粒子的形态学参量如平均尺寸及其分布、相对折射率变化时,单次散射光谱的特征。并用傅里叶波形分析法研究了这些参量对单次后向散射光谱曲线形状及其谐波幅值的影响。结果表明,这些只经历了表层粒子单次散射的光谱信号对表层粒子的平均尺寸及其分布、相对折射率具有灵敏性。对光谱曲线波纹结构的幅值、频率,散射强度,光谱谐波的幅值有直接的影响。研究结果对早期癌症的散射光谱特征识别及其特征提取有重要的实用价值。 相似文献
74.
Kerr介质中级联三能级原子与压缩相干态相互作用的光子统计演化 总被引:6,自引:0,他引:6
本文研究了存在Kerr介质的高Q腔中压缩相干态与级联三能级原子相互作用的光子统计演化规律,讨论了光场参数、Kerr介质及相干振幅对平均光子数的影响. 相似文献
75.
以冰醋酸-六氢吡啶为催化剂,硅胶或氧化铝为载体,Meldrum酸与一系列醛酮在微波辐射下发生综合合反应,产率为22~97%。 相似文献
76.
锌在硫酸溶液中腐蚀速度及其缓蚀作用的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
锌在硫酸溶液中腐蚀速度及其缓蚀作用的研究杨春芬,沈报春(云南大学化学系,昆明650O91)金属的腐蚀及其缓蚀作用的研究具有重要的实际意义。近年来,有关锌腐蚀动力学及寻找高效缓蚀剂的研究有一些报道 ̄[1-3],但多在中性介质及用电化学方法研究,本文是在... 相似文献
77.
分别以水和乙醇为沉淀介质,按不同方法制备了低碳醇合成用Cu-Co-Fe系催化剂,以乙醇为沉淀介质时,有利于提高生氏碳醇的活性和选择性,产物中正构醇含量增加,且不服从Schulz-Flory方程分布方式,乙醇的存在,使沉淀体系中的杂质NaNO3不易洗脱,催化剂还原温度提高;高的NaNO3含量对进一步提高催化剂的活性和选择性不利,吸附实验结果表明,乙醇预处理可提高催化剂对CO的不可逆吸附能力,提高还原 相似文献
78.
液相色谱-蒸发光散射-电喷雾离子阱质谱法测定硫酸异帕米星及其有关物质 总被引:3,自引:0,他引:3
建立高效液相色谱-蒸发光散射检测(HPLC-ELSD)法测定硫酸异帕米星及其有关物质的含量,并采用高效液相色谱-电喷雾离子阱质谱(HPLC-MSn)联用,鉴定硫酸异帕米星中的有关物质.采用岛津Shim-VPODS色谱柱,流动相为005 mol/L五氟丙酸溶液甲醇(65∶35),流速为10 mL/min,漂移管温度为50℃,雾化气体压力为35×105 Pa,在正离子检测方式下,用电喷雾离子阱质谱法对异帕米星中的杂质进行多级质谱分析.异帕米星和杂质分离良好.异帕米星在70~1830 mg/L的范围内呈较好的线性关系(r=09999),异帕米星的重复性实验RSD=12%;检出限为11 mg/L,结合多级质谱裂解初步推断异帕米星中主要一个未知杂质是异帕米星分子中3位NH2与异丝氨酸结合失去一个分子H2O所得的两分子异丝氨酸取代物.方法快速、简便,结果准确可靠,重现性好. 相似文献
79.
本文在恒定特丁醇质量分数x=0.10的条件下,应用电动势法测定了无液接界电池(A)和电池(B)的电动势:Pt,H_2(1.013×10~5Pa)HCl(m),tert.-C_(4)H_9OH(x),H_2O(1-x)AgCl-Ag(A)Pt,H_2(1.013×10~5Pa)|HCI(m_A),NaCl(m_B),tert,-C_4H_9OH(x),H_2O(1-x)|AgCl-Ag(B)根据电池(A)电动势确定了混合溶剂中的Ag-AgCl电极的标准电极电势,讨论了HCl的迁移性质;利用电池(B)的电动势计算了HCl在该体系中的活度系数γ_A,结果表明,在恒定总离子强度下,HCl的活度系数服从Harned规则.计算了HCl的一级、二级和总介质效应. 相似文献
80.