Vertical and Smooth, etching of InP by Cl2／CH4／Ar Inductively Coupled Plasma at Room Temperature

We study the room-temperature dry, etching of InP by inductively coupled plasma (ICP) using C12/CH4/Ar mixtures. Etches were characterized in terms of anisotropy and surface roughness by scanning electron microscopy and atomic force microscopy, respectively. It is found that the flow ratio between C12 and Ctt4, ICP power, rf chuck power, and table temperature can greatly influence the, etching results. By adjusting, etching parameters,vertical sidewall and smooth surface can be obtained simultaneously, together with a moderate, etch rate and a good select ratio. The root-mean-square surface roughness is measured to be as low as 0.27nm. To the best of our knowledge, this is the best result for InP to date. The, etch rate is 855nm/min, and the selectivity ratio overSi02 is estimated to be higher than 15:1. The stoichiometry of the, etched surface has also been investigated by Auger electron spectroscopy. The, etched surface is found to manifest a slight P deficiency, and the ratio between P and In reaches the stoichiometric value within about 0.75nm depth into the surface.     

受限高分子链的静态与动态性质

受限条件下高分子链的静态与动态性质是高分子物理学研究的重要组成部分,也是生物物理学关注的焦点问题之一。相对于自由高分子链,受限高分子链往往随受限程度和受限区域的不同而表现出一系列独特的规律性。本文首先回顾了自由空间中高分子链的基本性质,然后重点介绍了在不同受限程度下高分子链的静态性质和动力学行为,对比了不同受限区域下这些性质的差异性,并且系统总结了流场诱导下高分子链过孔的经典理论及其详细推导过程。最后,展望了受限高分子链今后的发展方向。     

铜( Ⅱ )存在下的催化极谱波检测福美双

报道了在酒石酸-酒石酸钾钠-K2S2O8体系中福美双与Cu2 的极谱催化波。在0.1mol/L酒石酸-酒石酸钾钠(pH=5.5)缓冲液 3.0×10-3mol/LK2S2O8 4.0×10-6mol/LCu2 底液中,极谱催化波峰电位Ep=-0.8V(vs.SCE);福美双的二阶导数峰峰电流Ip″与其浓度在1.0×10-8~1.0×10-6mol/L范围内呈良好的线性关系(r=0.9994),检出限为2.0×10-9mol/L。相对标准偏差(RSD)为1.17%(n=10)。在福美双浓度为1.0×10-6mol/L时,福美双还原波峰电流为12nA,而相应的福美双在Cu2 存在下的催化还原峰电流为1.5μA,即灵敏度提高了125倍。样品的检测回收率为83.8%~91.4%。该方法灵敏、简单、快速。     

二次函数题的错解剖析

本文举例剖析二次函数解题中常见的几种错误，供大家参考.一、概念方面的错误4.选(C).龟例我们在跳大(mZ当m为何值时，函数y-一2，一‘ (执一3)x 功，是关于二的二次函数?错解令mZ一Zm一1一2，解得m;一一1，mZ一3，所以，当m-一1或3时，题设中的函数是二次函数.剖析二次函数的概念告诉我们，函数y一a尹 bx十‘是二次函数的条件是二次项系数a并0.错解中，当m-一1时，二次项系数m， m一。，此时题设函数为y-一4x 1，不是二次函数了，故m只能取3.二、性质方面的错误到最高处的形状可近似地看作抛物线，如图2所示.甩绳的甲、乙两名同学拿绳的…     

折叠与解题

把一个图形沿某一直线折叠,使之与另一图形重合,不但形成了轴对称的概念,而且也给人以美的感受。因而根据这个道理便创造出无穷无尽的漂亮且丰富多彩的图案,装饰人们的生活,美化生存的环境.实际上,折叠的作用并不只此.在解题方面,大家已经看到用折叠把三角形的三个内角拼成了一个平角,用折叠证明了垂径定理。同样运用折叠我们还可以:     

多孔硅结构与发光机理的非线性光学研究

最近的研究中,采用1.06μm超短脉冲光激发,在多孔硅表面观察到了有效的红外多光子激发的荧光发射.研究表明,这是一个增强的三阶非线性光学过程.本文利用其三阶非线性特性对具有强可见光发射的多孔硅结构进行了研究,结果显示晶体硅的各向异性特征在多孔硅中几乎被保留;此外,较强的激光激发导致的红外上转换荧光信号衰减过程被归结为与多孔硅表面氢的脱附有关.     

谈可逆放热反应的最适宜反应温度

论证了一般可逆放热反应最适宜反应温度的存在；推导了最适宜反应温度与平衡温度之间的关系、与转化率之间的一般关系以及某些具体反应中的具体关系。     

大型爆轰实验示波器组群控制系统

针对爆轰实验中示波器的应用特点，介绍大型爆轰实验示波器组群控制系统。分析了基于GPIB接口的示波器组群的硬件连接方式，控制软件的组成，示波器的实验过程控制方式，数据存储格式和示波器组群控制系统的安全措施。     

渐变折射率波导传播特性微扰计算的代数递推公式

应用量子力学的超位力定理（HVT）和赫尔曼－费恩曼（Hellmann-Feynman）定理（HFT），导出了用微扰法计算渐变折射率平面波导传播常数各级近似值的代数递推公式，并给出了由传播常数近似值计算模场近似表达式的代数式。计算了几个典型实例，此法的特点是便于直接计算任意级近似的传播常数及模场分布，且可推广到二维波导的计算。     

能否利用大气中的电势差驱动电动机

地球表面附近的大气层中存在着电场,其方向垂直向下,强度约为120V/m。能否利用这种电势差来驱动电动机呢?如果能够的话,那将是一种取之不尽、用之不竭、无污染、无噪声的新型能源。与其它电机相比,它的设备简单,不受环境、自然条件的限制,足以推动一场新的工业革命浪潮出现。