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采用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)的方法制备了硅烷浓度分别为6%和7%, 随激发频率变化(40—70MHz)的氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜材料.研究了材料的电学特性、 结构特性、沉积速率与激发频率之间的关系.结果发现材料的光敏性随频率的增加先降低后 提高,晶化率和沉积速率的变化趋势与之相反;在晶化率最高点,材料在(220)的晶向衍射 峰最高.并从光发射谱的角度研究了材料结构和沉积速率随频率变化的原因.
关键词:
甚高频等离子增强化学气相沉积
本征微晶硅
激发频率 相似文献
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有些物理问题 ,运用物理方法进行定性分析较难得到令人信服的结论 ,而借用数学手段进行定量计算 ,则不仅推理规范严密 ,而且结果正确无误 ,尤其是在提倡“重视结合”、“重视学科间的相互渗透”的今天更具有其现实意义 .图 1 例题图例 如图 1的电路 ,总电压保持不变 ,滑动变阻器的总电阻为 2R ,开始滑片P位于变阻器的中点 ,电流表A(内阻不计 )的示数为I0 .当滑片向右移动到最右端点N的过程中 ,试求出电流表A内示数的最小值 (用I0 表示 ) .分析 :这是一道电学方面的问题 ,物理学中常用定性分析的方法 ,较“粗糙”地得出问题的结论 ,… 相似文献
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<正>苦味酸即2,4,6-三硝基苯酚,被广泛应用于炸药、染料和皮革等工业生产及医学中的收敛剂和杀菌剂的制备。受硝基吸电子效应的影响,苦味酸有很强的酸性,其可经过呼吸道、消化道和皮肤被人体吸收,引起支气管炎和接触性皮炎等。人体长期吸收苦味酸可导致末梢神经炎,肝、肾功能受损等,严重危害人类健康。因此,我国《地表水环境质量标准》(GB 3838-2002)中将苦味酸作为地表水源的一个常规监测指标。 相似文献
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从红树林内源真菌2526#分离到Sterigmatocystin 总被引:4,自引:0,他引:4
从海洋资源中寻找药物已越来越受到重视 ,已有的研究表明海洋资源有可能成为治疗人类疑难病症和延年益寿药物的丰富源泉[1] 。本研究组在从海洋微生物筛选新药的过程中 ,已发现多种结构奇特而具有强生理活性的化合物[2~ 4 ] 。Sterigmatocystin最早分离自陆生真菌Aspergillusversicolor的代谢产物[5] ,随后人们对其结构、生源合成及药理活性进行了广泛的研究。结果表明 ,sterigmatocystin是细胞毒性更强的化合物AflatoxinB1的生源合成前体。本文报道从采自香港红树Avi… 相似文献
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建立了气相色谱-质谱联用(GC-MS)测定纺织品中1,2-二氯乙烷的方法。样品经甲醇超声提取后,以TG-624(30 m×0.32 mm×1.8μm)为色谱柱,采用气相色谱-质谱联用全扫描和选择离子扫描进行定性定量分析、外标法定量。结果表明:在0.05~30 mg/L范围内,1,2-二氯乙烷的线性关系良好,相关系数为0.999 3;方法检出限为0.50 mg/kg。在0.5、1.0、5.0 mg/kg 3个加标水平下,粘纤、聚酯、羊毛、锦纶、桑蚕丝、腈纶、棉7种纺织品基底的加标回收率为85.2%~101.4%,相对标准偏差(RSD)为4.0%~7.4%。该方法简便、准确,灵敏度和精密度高,适用于纺织品中1,2-二氯乙烷的分析检测。 相似文献
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