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41.
Fu-Der Lai 《Applied Surface Science》2012,258(6):2113-2116
The operating frequency of the SAW filters is limited by the gap width but not the line width. The narrow gap width is required for the high operating frequency SAW filters. Therefore, in this study, high precision nano-image profiles transferred by near field phase-shifting mask (NFPSM) lithography at various exposure-energy-intensities (EEIs) are simulated by the finite element method (FEM). The transferred energy-intensity distribution (TEID) in the photoresist during the NFPSM process (at the wavelength of 248 nm) can be accurately simulated by the FEM. The TEID at the interface between the mask and the photoresist is also simulated. The fabricated pattern widths clearly match the simulation results. The study of the simulated image profiles shows that they are dependent on the EEI. The greater the EEI is, the narrower the width and the shorter the height of the image profile. The nano-linewidth of 60 nm is simulated and fabricated. The fabricated nano-imaging profile precisely fits the simulation results. Therefore, any expected nano-image profile can easily be fabricated by way of the simulation. 相似文献
42.
双步相移光栅投影测量轮廓术 总被引:3,自引:0,他引:3
双三步相移算法证明可以较大地减少数字光栅投影测量轮廓术的测量误差,基于理论分析与实验验证,针对常用的四步、五步相移算法,提出了相应的双四步、双五步相移算法。通过两次传统相移算法得到两幅主值相位图,直接融合两幅主值相位图即可获得测量所需的相位信息,与已有的针对两幅展开相位进行相位融合方法相比,此方法实现简单且更加有效。相较于双三步相移算法,双四步和双五步相移算法实现简单且能够极大地减少测量误差,仅需通过投影2倍数目传统相移算法所需的投影光栅,且可保持常用三步、四步及五步相移算法固有的优点。 相似文献
43.
44.
一种实现单步相移无透镜傅里叶同轴数字全息的倒频谱技术 总被引:1,自引:1,他引:0
在数字全息技术中无透镜傅里叶同轴数字全息具有高分辨,再现速度快等优点,因此有着广泛的应用前景,但它也存在再现像与直透光场及其共轭像重叠,较难分离的缺点。针对这一问题,在分析了无透镜傅里叶同轴数字全息图记录和再现原理的基础上,提出了单步相移倒频谱技术,并在理论上分析了该技术对分离出清晰再现像的可能性和该技术适用的关键条件。通过仿真实验进行了验证,结果表明:单步相移倒频谱技术能够较好地解决无透镜傅里叶同轴数字全息技术中再现像与直透光场及其共轭像重合这一困难,得到清晰的再现像;同时给出了实际实验中单步相移倒频谱技术能够适用的条件参数,这为后面的进一步实验提供了参考依据。 相似文献
45.
针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感,不能满足高精度光学检测的要求,本文引入一种等间隔多步移相算法—权重待定的加权最小二乘算法。通过在最小二乘算法中添加待定的权重,分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响,获得多组约束方程,从而确定权重和新算法。对新算法和标准四步算法、Hariharan五步算法进行比对分析,验证了新算法对PZT线性和二阶非线性移相不准、光强的一阶二阶波动和光源频率一阶二阶波动等误差抑制能力远远优于标准四步算法和Hariharan五步算法;新算法对CCD的量化误差、光强噪声、频率噪声的抑制能力也具有一定优势,且对CCD的二阶响应非线性完全不敏感。 相似文献
46.
利用结合移相光栅掩模 (PSGM) 的激光结晶技术在超薄a-SiNx/a-Si:H/ a-SiN x三明治结构样品中制备出二维有序分布的纳米硅阵列.原始样品是用等离子体 增强化学气相淀积法生长.a-Si:H层厚为10nm,a-SiNx 为50nm,衬底材料为SiO 2/Si或 熔凝石英.原子力显微镜、剖面透射电子显微镜、高分辨透射电子显微镜对样品表面形貌和 微结构的观测结果表明,采用该方法可以在原始淀积的a-Si:H层中得到位置可控的晶化区域 :每个晶化区域直径约250nm,具有同PSGM一致的2μm周期;晶化区域内形成的纳米硅 颗粒尺寸接近原始淀积的a-Si:H层厚,且晶粒的择优取向为<111>.
关键词:
纳米硅
激光结晶
定域晶化
移相光栅 相似文献
47.
相移相位测量的全息再现算法及测量误差分析 总被引:2,自引:2,他引:0
用全息原理和方法研究相移相位测量,得到了N步整周期相移再现物光波复振幅同步叠加函数(N步相移函数),同时提出一种新的相移相位测量误差分析和最大误差估计方法。N步相移干涉图是以理想平行光为参考光的无衍射同轴全息图,将其与对应的相移参考光相乘后求和得到N步相移函数;在理想情况下,这是一种复振幅分离、测量和物光波复振幅函数同步叠加方法,存在误差时计算出的相位是最小二乘方法的最佳期望结果。利用N步相移函数得到的N 1步相移函数,说明非理想N步相移函数是理想N步相移函数与误差函数之和,可以把相位型误差转化为与振幅和强度相对误差同等的误差来对待,降低了相位测量中误差估计的难度,给出了N步相移算法最大误差的估计方法和公式。 相似文献
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