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Fabrication of 4-Inch Nano Patterned Wafer with High Uniformity by Laser Interference Lithography 下载免费PDF全文
We report the fabrication of 4-inch nano patterned wafer by two-beam laser interference lithography and analyze the uniformity in detail. The profile of the dots array with a period of 800 nm divided into five regions is characterized by a scanning electron microscope. The average size in each region ranges from 270 nm to 320 nm,and the deviation is almost 4%, which is approaching the applicable value of 3% in the industrial process. We simulate the two-beam laser interference lithography system with MATLAB software and then calculate the distribution of light intensity around the 4 inch area. The experimental data fit very well with the calculated results. Analysis of the experimental data and calculated data indicates that laser beam quality and space filter play important roles in achieving a periodical nanoscale pattern with high uniformity and large area. There is the potential to obtain more practical applications. 相似文献
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刘炉英汤春琪吴家婷谢丽君 《分析科学学报》2022,(4):503-507
利用核黄素作为模板分子印迹在溶胶凝胶分子层并包裹碳量子点,制备荧光传感器(Carbon Quantum Dots@Molecular Imprinted Polymers,CD_(S)@MIPs)。在激发波长为370 nm时,该传感器特异性吸附核黄素后,520 nm处荧光随核黄素浓度的变化而变化,即520 nm处的荧光作为变量信号,碳量子点在460 nm的荧光作为参考信号,形成比率荧光传感器。核黄素的浓度与I_(520)/I_(460)的荧光比值呈现线性相关关系,线性范围为0.15~7.0μmol/L,检出限为8.48 nmol/L。相比于直接荧光检测核黄素的方法,此方法具有特异性、抗背景干扰性等优点,可应用于检测果汁中的核黄素。 相似文献
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利用密度泛函理论研究了NH3在完整和含有缺陷的硼纳米管上的吸附行为以及相关电子性质. 计算结果表明, 对于α硼纳米管, 在不同的直径和手性条件下, NH3均倾向于吸附在配位数为6的顶位上. 电子结构计算结果表明, NH3能够吸附在纳米管表面主要是由于N和B原子产生了较强的相互作用. 表明硼纳米管是一种潜在的NH3气气敏材料. 相似文献
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美国数学家波利亚在《怎样解题》一书中,提出了一个解题计划表,其中有一个重要的环节是联想.联想是我们能否顺利解决问题的桥梁,它是一种重要的思维形式.包括两种情况:一种“横向联系”,把处于不同知识块的知识联系在一起,这种思维形式有利于提高我们的思维的灵活性,也有利于我们把不同的数学知识融会贯通.联想的另一种形式,是“纵向联系”.以逻辑推理能力和运算能力为基础,将一个数学问题多次转化成另一个容易解决的数学问题,这种思维形式有利于提高思维的深刻性.横向联想,让我们的思维插上飞翔的翅膀,我们能飞得更高更远更轻盈灵活;纵向联想,能让我们的思维更加深刻,让我们的数学素养更加深厚. 相似文献
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有机过氧化物安定性的差示扫描量热测定 总被引:1,自引:0,他引:1
1 引言有机过氧化物是一种自反应性物质.这类物质在制造、使用、贮存过程中或由于自分解发热、热积累导致燃烧、爆炸,或由于冲击、摩擦、电火花、明火等外部作用导致燃烧爆炸而造成人员伤亡.差示扫描量热法(DSC)、压力容器试验法(PVT)是评价这类物质安全性的基本方法.本文利用DSC法对7种有机过氧化物进行了加热分解试验研究,探讨其热安定性、发生热爆炸的难易程度及剧烈程度. 相似文献
38.
毫微晶材料的结构和性能 总被引:2,自引:0,他引:2
本文综述了八十年代发展起来的毫微晶材料的结构和性能.毫微晶材料中,界面剖分占原子总数的90%左右.实验结果表明,界面部分原子的徘列既不象晶态材料那样长程有序,也不象非晶态材料那样短程有序,可以看成是一种类似于气体的结构.这种材料在力学、磁学、热学等方面的性能相对于相同成分的多晶材料、非晶态材料有了很大的改进,是一种具有广阔发展前景的新型材料. 相似文献
39.
排序问题F2||Cmax,Johnson条件只是最优解的充分条件,不是必要的.本文绘出一个充分必要条件,由此得到生成全部最优解的算法.主要理论是基于一种序论方法. 相似文献
40.
α-钛合金TA6的动态力学性能和剪切现象分析 总被引:1,自引:0,他引:1
诸多文献已经报道了β和(α β)钛合金冲击和爆炸加载下的绝热剪切现象,本文利用分离式的Hopkinson压杆和反射式Hopkinson拉杆对α-钛合金TA6的动态力学性能进行研究,得到不同应变率下材料的应力-应变曲线,发现钛合金TA6和其他钛合金一样也是一种应变率敏感材料。冲击拉伸加载时破坏形状45度剪切断口,然而其在冲击压缩应力作用下体现为典型的韧性,并未出现其它类型钛合金通常会出现的绝热剪切破坏。进一步分析表明:α-钛合金TA6不同于β和(α β)的钛合金,α-钛合金TA6相对于β和(α β)的钛合金是一种绝热剪切不敏感的材料。同时也利用应力状态的柔韧系数的概念对拉伸时45度的剪切断口解释。 相似文献