单晶硅上化学气相沉积铜薄膜的机理研究

A versatile metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) system was designed and constructed. Copper films were deposited on silicon (100) substrates by chemical vapor deposition (CVD) using Cu(hfac)2 as a precursor. The growth of Cu nucleus on silicon substrates by H2 reduction of Cu(hfac)2 was studied by atomic force microscopy and scanning electron microscopy. The growth mode of Cu nucleus is initially Volmer-Weber mode (island), and then transforms to Stranski-Rastanov mode (layer-by-layer plus island).The mechanism of Cu nucleation on silicon (100) substrates was further investigated by X-ray photoelectron spectroscopy. From Cu2p, O1s, F1s, Si2p patterns, the observed C=O, OH and CF3/CF2 should belong to Cu(hfac) formed by the thermal dissociation of Cu(hfac)2. H2 reacts with hfac on the surface, producing OH. With its accumulation, OH reacts with hfac, forming HO-hfac, and desorbs, meanwhile, the copper oxide is reduced, and thus the redox reaction between Cu(hafc)2 and H2 occurs.     

新型5,6-2H-Lamellarinη及其类似物全合成研究

以2,4-二异丙氧基-α-溴代苯乙酮类化合物1a,1b和异喹啉类化合物1c为原料,通过"Knorr缩合-酯化-关环"的方法,成功地合成目标化合物5,6-2H-Lamellarinη(5a)及其类似物5b,同时得到了两种新型的开链Lamellarin(化合物I、II).本研究共合成10种化合物,其中6种为新化合物,其结构通过1H NMR,13C NMR,MS,IR,HRMS谱图手段进行了表征.     

关于元件失效率等级鉴定试验的一种贝叶斯方法

为鉴定元件失效率的等级,按目前国家标准GB1772-79规定的抽样方案,需要做大量的试验,构成人力、物力的浪费,做较高等级的鉴定甚至是不可能的.本文采用贝叶斯方法,利用大量的历史数据和工程技术人员的丰富经验确定先验分布,制定出元件失效率等级鉴定试验的一种新方案.按照这一方案,在确保产品质量的前提下,将大大节省试验时间,从而得到十分可观的经济效益。     

一维离散指数族参数的连续函数的渐近最优经验Bayes估计

考虑写成下面形状的离散指数分布族:P_θ(X=x)=h(x)β(θ)θ~x,x=0,1,2,…,(1)θ∈Θ,Θ={θ:θ>0,sum from x=1 to ∞ h(x)θ~x<∞},f(θ) 为在Θ上定义的任一连续函数.本文的目的是研究在平方损失 L[f(θ),d]=[f(θ)-d]~2之下,f(θ) 的渐近最优 (asymptotically optimal,简记为 a.o.) 经验 Bayes 估计问题.根据 Robbins 在[1]中介绍,Johns 于1956年在其博士论文 [2] 中,对(1)的一重要特例,即 Poisson 分布族     

光致Mg4FGeO6:Mn发光光谱的热敏特性研究

为了发展一种新型测温方法的热敏磷光涂层,对Mg4FGeO6:Mn的双峰发光光谱的热敏特性进行了研究。建立了具有加热平台的光谱测量系统,测量了Mg4FGeO6:Mn在室温到800K温度下的发光光谱。测量了Mg4FGeO6:Mn的吸收光谱,采用晶格微扰理论分析了其双峰发射峰的形成机制。4 F′2和4 F″2向4 A2基态的跃迁,导致在630和660nm附近出现两个发射峰。由于4F′2和4 F″2的总粒子数布局满足热力学平衡,随着温度的升高,两个发射峰呈现了不同的变化趋势,630nm附近的发射峰强度下降较缓,而660nm附近的发射峰强度下降较快。这一变化趋势为采用双峰发射峰强度比测温方法提供了依据。拟合了两个发射峰处的光强比与温度的关系曲线,获得了Mg4FGeO6:Mn采用双峰发射峰强度比方法测温范围为室温到800K。     

机器人无标定视觉伺服控制研究进展

视觉伺服控制是机器人系统重要的控制手段. 相比传统的在标定条件下使用的视觉伺服系统,无标定视觉伺服系统具有更高的灵活性与适应性,是机器人伺服控制系统未来重要的发展方向和研究热点. 本文从目标函数选择、控制器设计、运动轨迹规划三方面综述了无标定视觉伺服控制系统近年来的主要研究进展. 首先根据目标函数的形式,分析了基于位置的视觉伺服、基于图像的视觉伺服以及混合视觉伺服各自的特点与应用;在控制器设计方面,根据是否在设计过程中考虑机器人的非线性动力学特性,分别介绍了考虑机器人运动学与考虑机器人动力学的无标定视觉伺服控制器的设计,重点突出了雅克比矩阵的构造与估计方法;针对无标定视觉伺服系统运动轨迹可能存在的问题,从空间轨迹优化与障碍规避的角度,阐述了已有的可行解决方案. 最后,基于当前的研究进展展望了无标定视觉伺服的未来研究方向.      

可调谐掺铥光纤激光器线宽压缩及其超光谱吸收应用

可调谐二极管激光吸收光谱技术是一种应用非常广泛的吸收光谱测量技术.利用宽带可调谐窄线宽光源进行吸收光谱测量的超光谱吸收技术可以在单次扫描中获取一段连续光谱的所有吸收数据,可大大提高可调谐二极管激光吸收光谱技术的数据信息容量和光谱诊断能力.分析了在2μm波段对水进行超光谱吸收测量时对激光器输出线宽的具体要求.利用掺铥光纤在2μm波段较宽的发射谱,采用可调谐法布里-珀罗滤波器和光纤可饱和吸收体相结合的技术方案搭建了一台宽带调谐窄线宽的2μm光纤激光器.获得了1840—1900 nm约60 nm范围的调谐光谱输出,激光器静态线宽仅为0.05 nm.利用该光源对空气中水在2μm波段的吸收光谱数据进行了超光谱吸收测量,在1856—1886 nm约30 nm的光谱范围内分辨了35条水的吸收谱线.通过对不同线宽条件下1870—1880 nm范围内的理论吸收光谱数据进行对比发现,测量数据无法有效分辨分别位于1873 nm和1877 nm处与强吸收线相邻的两条吸收谱线,且测量结果与激光线宽在0.08 nm条件下的HITRAN2012光谱数据库最为接近.这表明,在动态扫描过程中激光器的线宽得到了展宽.     

L-fuzzy拓扑空间中的近似超紧性

利用相关远域族的概念介绍一种近似超紧性、讨论它与超紧性以及近似良紧性之间的关系，证明它具有正则闭遗传、有限可和、弱拓扑不变和乘积性等性质，并对它进行网式和滤子式刻画。     

单晶硅上化学气相沉积铜薄膜的机理研究

在自行设计、建立的MOCVD系统上,以Cu(hfac)2为反应前驱物在单晶硅上进行铜薄膜的化学气相沉积,并用AFM、SEM对铜核的成长机理进行了研究．结果表明,反应初期,单晶硅上铜核的成长为岛状,反应后期为先层状后岛状．利用XPS对铜薄膜成长的反应机理进行了探讨,由薄膜的Cu2p、Ols、Fls、Si2p谱可推论出,XPS谱中所出现的C=O、OH及CF3／CF2可能为Cu(hfac),当Cu(hfac)2在高温下分解成Cu(hfac)及hfac后,H2还原表面的hfac生成OH基,反应进行一段时间,OH基浓度大到一定的程度后,与Cu(hfac)2热裂解产生的hfac作用生成HO-hfac并脱附,使表面的铜的氧化物被还原以及发生Cu(hfac)2与H2的氧化还原反应．     

关于线性经验 Bayes 估计

Robbins 在假定 E(x|θ)=θ和 Var(x|θ)=a bθ cθ~2之下,给出了参数θ的线性经验 Bayes(l.e.B.)估计,此处 a,b,c 为已知常数.本文去掉了他的第二个条件,给出了一类新的 l.e.B.估计,并得到了这个估计的收敛速度.此外,对 Robbins 的l.e.B.估计,在做了适当修改之后,也给出了收敛速度.