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利用直流磁控溅射(D.C.Magnetron Sputtering)法,选取总气压为80Pa,沉积时间为60min,溅射靶尺寸为φ80,在磁场强度、靶与基片之间的距离及Ar/O2比等参数变化的情况下,制备了四组YBCO/Al2O3非晶薄膜样品。用MeV Li卢瑟福背散射(RBS)分析技术,测量了各块样品中Ba和Cu相对Y的含量和薄膜厚度随基片的横向分布。分析结果表明:在不同的沉积条件下,薄膜中各点的Ba和Cu相对浓度差别较大,薄膜厚度分布也
关键词: 相似文献
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高温超导介质谐振器是毫米波应用的重要部件之一。本文研究了在确定频率下的介质谐振器的理论计算和实验结果,表明了采用园柱形GdBaCuO超导薄膜介质谐振器可以在毫米波段获得稳定的高Q谐振。 相似文献
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