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21.
基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
刘红忠  丁玉成  卢秉恒  王莉 《光子学报》2006,35(10):1460-1463
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10 min内由13 nm降低到5 nm以内,满足压印光刻在100 mm行程中达到20 nm定位准确度要求.  相似文献   
22.
醇+N-甲基哌嗪二元体系的体积性质   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
采用振荡管式数字密度计分别测定甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、丁正醇和异丁醇与N-甲基哌嗪组成的二元体系在298.15K下的密度,计算了超额摩尔体积、超额偏摩尔体积、表观摩尔体积、偏摩尔体积等体积性质,从分子相互作用角度讨论了这些二元体系的体积性质的变化规律,为N-甲基哌嗪的开发和研究提供基础数据和信息。  相似文献   
23.
夫琅禾费衍射公式的一般形式   总被引:1,自引:1,他引:0  
从不同的途径导出了大角度情形下亦成立的夫琅禾费衍射积分的一般形式,指出此一般形式公式是求解夫琅禾费衍射的基本公式.并通过对夫琅禾费衍射公式的级数形式的推导,揭示了傅里叶光学中“夫琅禾费衍射公式”与一般形式公式存在的差别,以及消除这种差别的措施.此外,还较详细地讨论了倾斜因子对衍射花样的影响.这对于衍射测量及深入理解夫琅禾费衍射的本质有一定的指导意义.  相似文献   
24.
刘少杰  于健 《物理通报》2003,(11):36-37
凯尔文电桥是国内大学基础物理实验所开设的实验内容之一,且多为自组式.关于自组凯尔文电桥的测量精度与桥路参数精度之间的关系,有些实验教材已有推导,但尚未涉及与两低阻相邻电压接头间跨桥电阻的定量关系,不注意这一点,会给测量结果带来一定的误差.本文就实际中常用的等双臂凯尔文电桥从理论上定量地推出了这一关系,进而给出了跨桥电阻可忽略时的适当阻值.  相似文献   
25.
FJZ-250型高速分幅相机时间测量不确定度分析   总被引:2,自引:1,他引:1  
FJZ-250型高速转镜分幅相机因转镜速度的不可重复性,光机结构的构造原理和控制系统各路高压触发时间的漂移,导致了时间测量的不确定度。为此,须对相机测量数据进行校正。阐述了校正方法、提供了逐幅校正位置误差的修正系数。若以预置转速对应的名义周期值去处理测量结果,则相机的时间测量合成小确定度将达1%,对名义周期值和名义幅间间隔时间值进行修正后,则可降至0.3%。  相似文献   
26.
用MCNP程序和ENDF/B—VI库数据计算了Livermore的^6 Li探测器的中子探测效率,并与国外发表的^6Li玻璃的探测效率数据进行比较,结果基本一致,表明本实验室的计算方法是正确的。  相似文献   
27.
强冲击载荷下自由表面的粒子喷射现象还没有被清楚认识,很难从理论上给以准确的计算模型,因而从实验测定材料在冲击载荷下自由面面喷射物质的分布和粒子尺寸大小就显得非常重要。测量微粒场的脉冲激光同轴全息技术,具有在纳秒或更在短时间内“固化”运动微粒场、测量精度高、景深长、光路简单和获得的信息量大等优点。这些优势使得脉冲激光同轴全息技术成为研究微喷射场的重要测试手段之一。  相似文献   
28.
为了获得脉冲中子探测系统的中子灵敏度能量响应,编制了适合裂变中子测量探测系统灵敏度能响的一系列专用程序,研究了相应的实验标定技术,采用理论计算和实验验证相结合的方法,对几套探测系统中子灵敏度能量响应进行了研究,初步解决了标定需要的“单能、脉冲、高强度、多个不同能量的中子源”问题,使不确定度大大提高,满足了测量的要求。  相似文献   
29.
We have measured lifetimes of △n=0 allowed transitions in beryllium-like sulfur using beam foil spectroscopic techniques. The measured values, derived from analysis of arbitrarily normalized decay curves, are presented and compared with theoretical calculations and previous measurements. Accurate probabilities have been determined by the well-known relationship.  相似文献   
30.
As in other parts of physics, we advocate the interaction approach: experiments ←→ (… are influenced and their importance is determined by … and vice versa) phenomenology ←→ low-energy effective (field) theory ←→ microscopic theory to probe the microscopic origin of gravity, Using the X-g phenomenological framework, we discuss the tests of equivalence principles. The only experimentally unconstrained degree of freedom is the axion freedom. It has effects on the long-range astrophysical/cosmological propagation of electromagnetic waves and can be tested/measured using the future generation of polarization measurement of cosmic background radiation.The verification or refutal of this axionic effect will be a crucial step for constructing an effective theory and probing the microscopic origin of gravity. The interaction of spin with gravity is another important clue for probing the microscopic origin of gravity. The interplay of experiments, phenomenology and effective theory are expounded. An ideal way to reveal the microscopic origin of gravity is to measure the gyrogravitational ratio of particles, Three potential experimental methods are considered.  相似文献   
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