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Influence of ion species ratio on grid-enhanced plasma source ion implantation 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
Grid-enhanced plasma source ion implantation (GEPSII) is a newly proposed technique to modify the inner-surface properties of a cylindrical bore. In this paper, a two-ion fluid model describing nitrogen molecular ions N_2^+ and atomic ions N^+ is used to investigate the ion sheath dynamics between the grid electrode and the inner surface of a cylindrical bore during the GEPSII process, which is an extension of our previous calculations in which only N_2^+ was considered. Calculations are concentrated on the results of ion dose and impact energy on the target for different ion species ratios in the core plasma. The calculated results show that more atomic ions N^+ in the core plasma can raise the ion impact energy and reduce the ion dose on the target. 相似文献
102.
在1.5K低温和0~9T的高磁场下研究了AlGaG/GaN异质结二维电子气的磁输运性质.实验结果在4块样品中都观察到了Shubnikov-da HaSS振荡的双周期行为.表明异质结的三角势阱中有两个子带被电子占据.通过电子子带占据时电子浓度分配的线形行为得到第二子带被占据的阈值浓度为7.2×1012cm-2.通过对不同样品量子散射时间和输运迁移率的研究,说明在1.5K下远程离化施主散射在量子散射时间中起主要作用. 相似文献
103.
通过变磁场霍耳测量研究了MBE生长的Hg0 .80 Mg0 .2 0 Te薄膜在 1 5— 2 5 0K温度范围内的输运特性 .采用迁移率谱 (MS)和多载流子拟合过程 (MCF)相结合的方法对实验数据进行了分析 ,由该方法获得的结果和ShubnikovdeHass(SdH)振荡测量的结果都证明材料中存在二维 (2D)电子和三维 (3D)电子 .其中 2D电子主要来自于Hg1-xMgxTe CdTe的界面积累层或Hg1-xMgxTe与真空界面附近的积累层 .3D电子迁移率随温度的变化关系表明了Hg1-xMgxTe中的电子散射机理与Hg1-xCdxTe中的非常相似 :在低温下电离杂质散射 (考虑了屏蔽效应 )起主导地位 ,而温度在 10 0K以上时 ,晶格散射占主导地位 . 相似文献
104.
105.
本文用共焦显微拉曼系统原位观察了Si(100)表面氢终端原子在稀氢氟酸中的变化过程。研究表明:在硅片浸入氢氟酸溶液的初期,表面主要被硅和三个氢原子的结合体(Si H3)以及硅和两个氢原子的结合体(Si H2)所覆盖。随着腐蚀过程的延长,Si H3越来越少,Si H2的信号不断增强,并且,硅和单个氢原子的结合体(Si H)的信号也开始出现。最终,硅表面主要被Si H2所覆盖,有少量Si H3和Si H键。本文还表明,拉曼光谱用来原位观察半导体材料表面终端原子键在溶液中的变化是很有用的工具 相似文献
106.
107.
108.
109.
本文用量子力学微扰方法结合相干平均理论提出了有限脉冲宽度强脉冲条件下的相干平均理论。这种方法在处理有限脉宽问题及无窗口(脉冲之间无间隔)脉冲序列时,计算简便,物理意义清楚,结果也较为精确。在设计多脉冲序列时,也有一定的指导意义。本文还讨论了这个方法在固体回波、固体宽带组合脉冲、WHH-4和MREV-8中的应用,并运用这个方法设计了无窗口固体回波脉冲序列PY(ω,τ)PY(ω,τ)PX(90°)—τ′和固体宽带组合π脉冲PX(90°)PY(90°)PX(90°)。实验结果表明,这两个脉冲序列效果较好。 相似文献
110.
逐步回归分析在交通运输企业成本控制中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
本文阐明企业在改革承包的大趋势下,必然加速推行现代化管理.而强化成本控制是现代化成本管理的关键一环.运用逐步回归分析法强化日常成本控制具有重要的现实意义。 文中给出了逐步回归分析的经济应用数学模型,编写了计算机程序文本.把经济管理科学的数学模型和利用计算机相结合在一起. 文中通过实例介绍了该模型的应用方法.检验结果证明很具有实用价值.从而进一步介绍说明了在实施日常成本控制时的具体方法及应注意的问题. 相似文献