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利用热丝化学气相沉积法研究了氮气浓度对金刚石薄膜成核和生长的影响.实验发现氮气的 加入对金刚石成核密度影响不大,但促进了已形成的金刚石核的长大.适量的氮气不仅使金 刚石生长速率得到很大的提高,而且稳定了金刚石薄膜(100)面的生长,使金刚石薄膜具有 更好的(100)织构.利用原位光发射谱对衬底附近的化学基团进行了研究.研究表明,氮气的 引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化.含氮基团的萃取作用提高 了金刚石表面氢原子的脱附速率,从而提高了金刚石膜的生长速率.而含氮基团的选择吸附 使金刚石
关键词:
氮气
金刚石薄膜
织构
原位光发射谱 相似文献
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为了实现资源的高效利用,采用排队论思想,建立了眼科病床合理配置的优化模型,并用计算机模拟的方法对模型进行了检验,根据历史数据,求得五类病人被分配到的病床比例为19%、24%、21%、10%、26%,所得结果与实际吻合较好,优化模型对病床的合理配置具有一定的借鉴意义. 相似文献
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为了开展高功率微波(HPM)馈源输出窗介质击穿实验研究,设计了一种组合型X波段高功率微波(HPM)喇叭馈源击穿实验装置。装置采用变张角喇叭与可移动介质输出窗组合的结构,通过调节变张角喇叭口面与输出窗间的距离,使得介质输出窗内表面电场强度可调。数值模拟结果表明:在满足馈源喇叭驻波比小于1.15,E面和H面基本等化的情况下,当调节变张角喇叭口面与介质输出窗距离在0~400 mm范围内变化时,HPM馈源输出窗上的电场强度变化为32.6~87.0 kV.cm-1,满足了在真空度3×10-3Pa、脉冲宽度20 ns条件下,HPM介质击穿对电场强度变化的要求。根据数值模拟结果,设计加工了HPM介质击穿实验装置,并成功地应用于GW级HPM馈源输出窗介质击穿实验研究。 相似文献
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We report the laser-chirp controlled terahertz(THz) wave generation from two-color-laser-induced air plasma.Our experimental results reveal that the THz wave is affected by both the laser energy and chirp,leading to radiation minima that can be quantitatively reconstructed using the linear-dipole-array model.The phase difference between the two colors,determined by the chirp and intensity of the laser,can account for the radiation minima.Furthermore,we observe an asynchronous variation in the ge... 相似文献