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911.
超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计   总被引:4,自引:0,他引:4  
胡大伟  李艳秋  刘晓林 《光学学报》2013,33(1):122004-204
针对45nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径。设计了一套小中心遮拦,数值孔径为1.20的Schwarzschild折反式投影光刻物镜。设计结果表明,该投影光刻物镜工作带宽为100pm,像方视场为50μm,线中心遮拦比为13%,光学分辨力为80nm时(6240lp/mm)的系统调制传递函数大于0.45,全视场最大畸变为6.5nm,满足了45nm深紫外(DUV)浸没光刻实验平台对投影光刻物镜的需求。  相似文献   
912.
于磊  林冠宇  于向阳 《光学学报》2013,33(1):122001-186
空间高层大气遥感远紫外成像光谱仪主要用于观测高层大气中的远紫外辐射和实现对其内部中尺度现象成像的功能。目前我国该类的相关仪器研究基础还比较薄弱,针对这种情况,在光学系统设计的角度上给出了一种适用于130~180nm波段探测的光学系统方案。该成像光谱仪光学系统以离轴抛物镜为物镜,串联Wadsworth结构为成像光谱系统;这种串联Wadsworth成像光谱系统采用离轴抛物镜做准直镜,分光器件为平面光栅和球面光栅串联,实现二次色散,同时球面光栅起到聚焦成像作用;在像差理论的基础上,对该结构的光程函数和各像差进行了分析,获得了改进结构的宽波段完善成像条件。针对低轨空间探测应用要求设计了相关改进型Wadsworth结构成像光谱仪光学系统,设计结果证明系统像差得到了充分校正,在奈奎斯特频率(20lp/mm)下全视场全波段调制传递函数值在0.6以上。该优化结构同时具备高空间分辨率和高光谱分辨率,性能优越。  相似文献   
913.
近年来,水分解、氧气/二氧化碳还原等电化学能源转换技术为解决全球能源短缺及环境问题提供了新的思路和方向.然而,对这些能源转换技术的反应机理及其催化剂的活性位点目前仍缺乏深刻的认识和理解,这限制了高效、稳定催化剂的开发,以致阻碍该类电化学技术的进一步发展.原位光谱技术的快速发展为解决上述问题提供了坚实的基础,其中拉曼光谱...  相似文献   
914.
915.
有机小分子电子受体材料的侧基能够影响异质结有机太阳能电池的给体/受体匹配和器件性能。我们设计并合成了一个硼原子带有噻吩侧基的有机硼小分子(MBN-Th)。该分子的LUMO离域在整个骨架上,HOMO定域在中心核上,其独特的电子结构使该分子具有两个强的吸收峰(波长分别为490和726nm),因此分子具有宽的吸收光谱和强的太阳光吸收能力。与苯基侧基相比,噻吩侧基使分子的HOMO能级下移0.1 eV,LUMO能级保持不变,进而引起分子带隙减小和吸收光谱蓝移20nm。基于该有机硼小分子受体材料的异质结有机太阳能电池,实现了4.21%的能量转化效率和300–850nm的宽响应光谱。实验结果表明,硼原子上的噻吩侧基是调控有机硼小分子光电性质的有效方法,可以用于有机硼小分子受体材料的设计。  相似文献   
916.
金振康  刘和文 《应用化学》2019,36(12):0-1375
利用254 nm紫外光对[2.2]对环蕃氯仿溶液进行辐照,得到两种主要产物4-醛基-[2.2]-对环蕃和4,4'-(乙基-1,2-二取代)二苯甲醛,利用核磁共振波谱仪(NMR)和气相色谱-质谱联用(GC-MS)技术手段对产物的结构进行分析研究。 同时对反应条件进行探究,发现当氯仿和水同时存在时才能生成醛基,并由此提出了提出了可能的反应机理:通过瑞默-提曼反应使CHCl2·自由基加成到苯环上并进一步生成醛基。  相似文献   
917.
王彩虹  谭帅 《合成化学》2019,27(11):909-912
通过亲核取代反应引入硫醇官能团,利用缩合反应形成苯甲酸联苯酯基元,合成了以苯甲酸联苯酯为液晶基元分子端部含有硫醇基团的棒状分子--4′-(6-巯基己烷氧基)-4-烷氧基-苯甲酸联苯酯(4a~4c),其结构经1H NMR、 IR、 HR-MS(ESI)和元素分析表征。偏光显微观察和差示扫描量热分析结果表明:4在60~170 ℃表现出热致性近晶A相与向列相。随着端部烷氧链的增长,4的近晶A相温度区间由14 ℃拓宽到38 ℃,而清亮点由170 ℃逐渐降低至129 ℃。  相似文献   
918.
919.
920.
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