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1.
超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计   总被引:4,自引:0,他引:4  
胡大伟  李艳秋  刘晓林 《光学学报》2013,33(1):122004-204
针对45nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径。设计了一套小中心遮拦,数值孔径为1.20的Schwarzschild折反式投影光刻物镜。设计结果表明,该投影光刻物镜工作带宽为100pm,像方视场为50μm,线中心遮拦比为13%,光学分辨力为80nm时(6240lp/mm)的系统调制传递函数大于0.45,全视场最大畸变为6.5nm,满足了45nm深紫外(DUV)浸没光刻实验平台对投影光刻物镜的需求。  相似文献   
2.
采用大功率半导体激光器端面泵浦Nd∶LuVO4晶体,利用Cr4+∶YAG晶体作为可饱和吸收元件,实现了1.06 μm激光的被动调Q运转.在泵浦功率为19.1 W时,获得最高平均输出功率为4.58 W,脉冲宽度为84 ns,单脉冲能量为36.6 μJ以及峰值功率为436.2 W的激光脉冲.  相似文献   
3.
Stimulated Raman scattering (SRS) of picosecond pulses is investigated in a new crystal SrWO4. The second harmonic generation of a mode-locked Nd:YAG laser system is used as the pump source. In an external singlepass configuration, the SRS thresholds for the first to the fourth Stokes lines are measured. For the first Stokes line, the steady-state gain coefficient of the SrWO4 crystal is calculated to be 15.96cm//GW. In our experiment, as many as five Stokes lines (559.23 nm, 589.61 nm, 623.49 nm, 661.50 nm, 704.44 nm) and three anti-Stokes lines (506.97nm, 484.34 nm, 463.65nm) are observed, and the total conversion efficiency is as high as 62%.  相似文献   
4.
在数学课的教学中,特别是压缩教学课时后往往容易忽视习题课的作用,本通过实例说明习题课有利于帮助学生正确理解基本概念和掌握数学基本方法,有利于引导学生对教学内容与问题进行分析,使在学习中正确掌握所学知识点,有利于提高分析问题和解决实际问题的能力。同时通过教学实例对如何上好习题课提出了看法。  相似文献   
5.
YVO4晶体的高效受激拉曼散射   总被引:13,自引:2,他引:11  
报道了YVO4晶体在532 nm、30 ps脉冲下的的高效受激拉曼散射。采用腔外单次通过方式测量了不同长度YVO4晶体1阶斯托克斯受激拉曼散射的阈值,并得到该晶体的稳态增益系数为16.0±0.5 cm/GW。实验中观察到2阶斯托克斯线(558.6 nm5、87.8 nm)和1阶反斯托克斯线(508.0 nm),受激拉曼散射的整体转换效率高于50%。  相似文献   
6.
掺Ce,Fe系列LiNbO3晶体光折变效应光存储特性   总被引:9,自引:4,他引:5  
研究了系列Ce:Fe掺杂以及不同后处理态(生长态、还原态和氧化态)铌酸锂晶体的透过率光谱和光折变全息存储特性。实验结果表明单掺Ce铌酸锂晶体具有较好的图像存储质量和较宽的透过率光谱范围,二波耦合增益相对较低;高掺杂铌酸锂样品的透过率光谱范围较窄,光折变二波耦合增益较低。晶体的后处理对铌酸锂样品的光折变特性影响明显,双掺Ce:Fe还原态铌酸锂晶体具有较高的二波耦合增益;氧化态样品具有较大的透过率光谱范围;还原态样品具有较大的光折变二波耦合增益特性。实验结果还表明在同种样品中难于同时获得大的二波耦合增益和图像存储质量。  相似文献   
7.
以三苯胺或硝基苯为端基, 合成了三个卟啉多枝分子: 5-(4-硝基苯甲酰氧基)苯基-10,15,20-三-(4-溴苯基)卟啉(TPP-NO2)、5-(4-硝基苯甲酰氧基)苯基-10,15,20-三-(4-二苯胺基-1-苯乙烯基)苯基卟啉(TPP-X3)和5,10,15,20-四-(4-二苯胺基-1-苯乙烯基)苯基卟啉(TPP-X4), 进行了红外光谱、核磁共振光谱和质谱表征. 比较研究了分子“枝”、“核”不同键合方式与不同对称结构对分子的线性光谱、非线性光谱以及分子内能量转移行为的影响. 在钛宝石激光器(800 nm)和Nd∶YAG倍频光(532 nm)泵浦下, 样品溶液均发出卟啉环特有的红色荧光——前者系双光子吸收机制“上转换”荧光, 后者则为双光子吸收与分子内能量转移机制“下转换”荧光. 飞秒Z-scan技术测得样品双光子吸收截面最大可达130 GM, 与四苯基卟啉(TPP)同等测试条件下的双光子吸收截面相比增大了两个数量级.  相似文献   
8.
采用大功率半导体激光器端面泵浦Nd∶LuVO4晶体,利用Cr4 ∶YAG晶体作为可饱和吸收元件,实现了1.06μm激光的被动调Q运转.在泵浦功率为19.1W时,获得最高平均输出功率为4.58W,脉冲宽度为84ns,单脉冲能量为36.6μJ以及峰值功率为436.2W的激光脉冲.  相似文献   
9.
Cat mutually pumped phase conjugation configuration is discovered and investigated by using two-wave mixing in (KyNa1-y)2z(SrxBa1-x)1-zNb2O6 (KNSBN) crystal. When only one signal or pumped beam does not give birth to phase conjugation, the maximum reflectivity of signal and pumped beam attain 140% and 30% due to two-wave mixing, respectively. The experimental results show that the two-wave mixing can reduce the threshold of incident beams power, extend the incident angle range, and shorten response rate in the process of self-pumped phase conjugator (SPPC) in KNSBN crystal.  相似文献   
10.
 采用腔外单次通过方式,测量了LiIO3晶体在532 nm皮秒脉冲下的受激拉曼散射。实验中观察到3级斯托克斯线(556.07,582.30, 611.76 nm)和1级反斯托克斯线(509.57 nm),由此可计算出其频率间隔为820 cm-1。测量了LiIO3晶体各级拉曼散射谱线的阈值和增益系数,受激拉曼散射的整体转换效率达到56%。基于LiIO3晶体实现了皮秒外腔式拉曼激光器的运转,双波长输出总转换效率为27%,最大输出能量1.4 mJ。  相似文献   
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