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采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘整齐程度在几十纳米的石墨条,另外,用 电子束曝光和反应离子刻蚀的工艺,可以得到最小尺寸为50 nm的纳米石墨图型 (nano-size d graphite pattern,纳米尺寸的多层石墨结构).采用了三种不同的方案制备反应等离子刻 蚀过程中需要的掩膜,分别是PECVD生长的SiO2掩膜,磁控溅射的方法生长的Si O2掩膜和PMMA光刻胶掩膜,并将三种方案的刻蚀结果做了对比.
关键词:
高定向热解石墨
聚焦离子束刻蚀
电子束曝光
反应离子刻蚀 相似文献
994.
利用兰州重离子研究装置(HIRFL)的碳离子束辐照油葵干种子,统计出苗率、存活率、花粉活力、柱头可授性和不同授粉条件下的结实率,研究碳离子束辐照对油葵当代结实特性的影响。结果表明,出苗率、存活率、花粉活力、结实率随着辐照剂量增加而降低;与对照相比,80 Gy辐照后出苗率下降55.68%、存活率下降64.66%;20~160 Gy辐照显著降低了自交结实率,40~160 Gy辐照显著降低了混交结实率;花粉活力由对照组的92.01%降低为160 Gy的47.59%;随着辐照剂量的增加,具有较强可授性柱头的百分比逐渐降低,具有较弱可授性柱头和不具可授性柱头的百分比逐渐增加。研究表明,碳离子束辐照对油葵当代的损伤作用,影响了花器官的育性,降低了结实率;根据存活率的半致死剂量,结合混交结实率的半不育剂量,确定油葵适宜辐照剂量范围55~153 Gy,为碳离子束辐照油葵育种选择适宜辐照剂量提供了参考。 相似文献
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