All-reflective optical system design for extreme ultraviolet lithography

All-reflective optical systems,due to their material absorption and low refractive index,are used to create the most suitable devices in extreme ultraviolet lithography （EUVL）.In this letter,we present a design for an all-reflective lithographic projection lens.We also discuss its design idea and structural system.After analysis of the four-mirror optical system,the initial structural parameters are determined,the optical system is optimized,and the tolerances of the system are analyzed.We also show the implementation of optimal layout and desired imaging performance.     

193nm光刻曝光系统的现状及发展

投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节，曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势，以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术；通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术，探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。     

一类全局收敛的共轭投影梯度法及其超线性收敛性

一类全局收敛的共轭投影梯度法及其超线性收敛性时贞军（曲阜师范大学运筹学研究所）ＡＣＬＡＳＳＯＦＧＬＯＢＡＬＣＯＮＶＥＲＧＥＮＴＣＯＮＪＵＧＡＴＥＰＲＯＪＥＣＴＩＯＮＧＲＡＤＩＥＮＴＭＥＴＨＯＤＡＮＤＩＴＳＳＵＰＥＲＬＩＮＥＡＲＣＯＮＶＥＲＧＥＮＣＥＲ...     

解线性不等式的神经网络

本文提出两个解线性不等式的Hopfiedl-Tank型的神经网络。第一个网络模拟同时松弛投影方法，第二个网络是二次规划方法。当线性不等式的解集非空时，这两个方法都给出该线性不等式的解。同时我们还给出了这两个网络的数值模拟。     

孔径旋转频闪散斑照相法测量物体的固有频率

提出了一种测量物体固有频率的新方法－－孔径旋转频闪散斑照相法。该方法能方便地测量振动物体的固有频率，具有精度高、全场显示、条纹可见度好等优点，给出了理论分析和实验结果。     

NOETHERIAN GR-REGULAR RINGS ARE REGULAR

It is proved that for a left Noetherian z-graded ring A,if every finitely generated graded A-module has finite projective dimension(i.e-,A is gr-regular)then every finitely generated A-module has finite projective dimension(i.e.,A is regular).Some applications of this result to filtered rings and some classical cases are also given.     

相移测量技术中相移器研究

本文介绍一种用于相移测量技术的相移器。该相移器由计算机通过Ｄ／Ａ接口板自动控制输出电压幅度，其电路采用闭环控制，位移由压电晶体产生，具有很高的电压稳定度（０１％）和较小的相移误差（小于３°）。描述相移器的结构、驱动源工作原理及相移器标定方法     

投影阵在空间解析几何中的应用

本文得到了空间直线和平面的投影阵，并举例说明了它在空间解析几何中的应用。