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We report the effects of post-thermal treatment on the quality of 2-inch 6H-SiC wafer cut from a crystal boule grown by physical vapour transportation method. The full widths at half maximum of x-ray diffraction rocking curves measured on sites across the 2-inch wafer become narrower, indicating the quality improvement after a three-step post-thermal treatment. It is found that the most common defects such as micropipes and inclusions can be significantly reduced after the treatment. Our results show that the post-thermal treatment is an effective route to improve the quality of SiC single crystals. 相似文献
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采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
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透过海湾战争的硝烟,人们惊奇地发现现代高科技已悄悄地渗透进了战争体系.不仅“电子对抗战”之类的新名词使人们大开眼界,而且在防御上也出现了新的突破.美国耗费了25年时间,22亿美元研制的“爱国者”反导弹导弹以80%的成功率拦截了伊拉克射向沙特与以色列的“飞毛腿”导弹.这是数千年战争史上矛与盾的竞争中,盾占了上风的一个例子.矛与盾这是战争双方必备的武器.在当今世界上,核战争的威胁并没有完全消失.世界的武器库中保存着足于毁灭人类文明的核武器.核打击力量加上各类中长程导弹、火箭、航天飞机、卫星、空间站等运载工具,已形成了战略上的进攻性威胁.作为一般战争规律,有矛必有盾,战略防御概念也必然会应运而生.因此有人说,这是新一轮的扩张军备的竞赛,也不算为过. 相似文献
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考察了化学位移各向异性对半整数自旋四极核2D NMR章动的影响.用数值方法对2D NMR章动实验的演化期的Hamiltonian矩阵进行对角化,然后用帐篷法进行粉末平均,获得了自旋为I=3/2、5/2、7/2和9/2的四极核在不同化学位移各向异性下的2D NMR章动谱.实验结果与理论计算符合较好. 相似文献
99.
100.
降合物假冠醚研究(Ⅱ)新型聚合物的合成、吸附特性与绿色应用 总被引:4,自引:0,他引:4
合成了两种假冠醚型聚合物。研究了聚合物对金属离子的静态吸附性能。结果表明,聚合物对Ag^ ,Pb^2 ,Hg^2 表现出良好的吸附特性,且聚合物B的吸附能力优于聚合物A。吸附实验表明,除冠醚氧原子参与配位外,-CH2OH的氧原子亦参与了配位。聚合物B对Ag^ 的吸附过程中存在着明显的氧化还原现象,Ag^ 被还原为Ag^0,而聚合物分子中的-CH2OH被氧化成为-COOH。已初步将研究成果应用于本化学实验室的绿色化建设中。 相似文献