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压印光刻中套刻需要粗、精两级对正.实验采用一对斜纹结构光栅作为对正标记.利用物镜组观察光栅标记图像的边界特征进行粗对正,其准确度在精对正信号的捕捉范围内;利用光电接收器件阵列组合接收光栅莫尔信号,在莫尔信号的线区进行精对正.由于线性区的斜率大, 精对正过程中得到相应x,y方向的对正误差信号灵敏度高,利用高灵敏度对正误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行驱动定位,实现精对正.最终使X,Y方向上的重复对正准确度分别达到了± 21 nm(± 3σ)和±24 nm(± 3σ). 相似文献
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现场拉曼光谱研究乙腈在金电极上的解离吸附行为 总被引:2,自引:1,他引:1
利用共焦显微拉曼系统、结合合适的电极表面粗糙方法研究了非水体系 0 1mol/LLiClO4 /CH3CN溶液中 ,乙腈分子在金表面的吸附和解离行为。结果表明非水体系中乙腈可在金表面发生还原反应 ,产物CN- 离子与电极表面作用形成的表面配合物可在较宽的电位区间吸附于电极表面。溶液中的微量水、激光照射以及电极电位均对该反应有较大的影响。通过拉曼谱图的比较得出乙腈分子解离出的CN- 在金电极表面比在银电极表面有更强的吸附作用。 相似文献
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采用矩阵奇异值分解(singular value decomposition, SVD)的方法,对高温射频超导量子干涉仪(HTc rf-SQUID)采集到的单通道心磁信号进行处理.证明了对于近似周期性的心磁信号,在无参考噪声的情况下矩阵奇异值分解的方法与自适应窄带陷波相结合有较好的消除广谱噪声的效果.
关键词:
高温射频超导量子干涉仪
心磁信号
奇异值分解
噪声消除 相似文献
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针对高频地波雷达系统OSMAR2000海流测向中海流元数不易估计的问题,利用四阶谱累积量MUSIC算法的空间谱结构特点,采用试探法确定信号源数并估计信号源的位置.通过对模拟海流和实测数据的处理实验表明,利用该算法可以较准确地估计出海流元的个数和方位,并且比传统MUSIC方法获得更小的角度估计方差,有效地反演了海洋表面流信息. 相似文献
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