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Low-Temperature Growth of Polycrystalline silicon Films by SiCl4/H2 rf Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition 总被引:4,自引:0,他引:4
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Polycrystalline silicon film was directly fabricated at 200℃ by the conventional plasma enhanced chemical vapour deposition method from SiCl4 with H2 dilution. The crystallization depends strongly on the deposition power.The maximum crystMlinity and the crystalline grain size are over 80% and 200—50Onm, respectively. The results of energy dispersive spectroscopy and infrared spectroscopy measurements demonstrate that the film is mostly composed of silicon, without impurities such as Cl, N, C and bonded H. It is suggested that the crystallization at such a low temperature originates from the effects of chlorine, i.e., in-situ chemical, etching, in-situ chemical cleaning, and the detachment of bonded H. 相似文献
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采用蒙特卡罗方法,对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法,结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量,进而可以有效地控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。 相似文献
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SnF_2的性质及其制备陈荣,周杰,沈玉华(北京大学化学系100871)(安庆师范学院)SnF_2是介于离子型和分子型之间的化合物,有α、β和γ三种变体,室温下是α-SnF_2,属单斜晶系,单位晶胞中含有4个环状四聚物Sn_4O_8,这种结构中有两种... 相似文献
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c轴定向氮化铝薄膜的制备 总被引:3,自引:0,他引:3
利用电子回旋共振 (ECR)微波增强化学气相沉积法 (PECVD)并使用氮气 (N2 ) ,氩气 (Ar)和AlCl3蒸气作为气源在直径为 6 .35cm的 (10 0 )单晶硅片表面制备了c轴定向氮化铝 (AlN)薄膜 ,并使用X射线衍射仪及其X射线特征能谱和扫描电镜 (SEM)分析了薄膜特征 ,研究了微波功率、基板温度和N2 流量对薄膜c轴定向的影响 ,得到了c轴偏差角小于 5°的高质量大面积AlN薄膜。 相似文献
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鲤鱼体中鱼腥味物质的提取和鉴定 总被引:2,自引:0,他引:2
采用同时蒸馏萃取法提取鲤鱼鱼体中的挥发和半挥发性有机物,用GC/MS从提取物中分析鉴定出鱼腥味和疑是鱼腥味物质16种。包括醛、烯醛、酮和呋喃4类化合物。其中己醛、庚醛和2,4-二烯癸醛被确认为鱼腥味的化合物。研究发现,这些物质总量在鲤鱼体的鱼鳞、鱼鳃和鱼肉的分布呈现下降趋势,且其总量与鱼腥味强度之间具有可比较的对应关系。 相似文献
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张正丽 《新疆大学学报(理工版)》2003,20(2):167-170
通过对气相色谱各项技术指标及意义的介绍,使应用者娴熟地掌握气相色谱的各项技术指标和测算方法,正确的表达分析检测结果。 相似文献
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气相色谱法测定面粉中过氧化苯甲酰 总被引:1,自引:0,他引:1
在酸性条件下用碘化钾还原过氧化苯甲酰为苯甲酸 ,经有机溶剂提取后在 5 % ( m/ m) DEGS+1%( m/ m) H3PO4 固定液的 60— 80目 Chromosorb W AW玻璃柱上分离 ,以保留时间定性 ,峰面积定量 ,建立了气相色谱分析过氧化苯甲酰的新方法。检出限为 6.0× 10 -4 g/ kg。该法用于样品分析 ,结果令人满意 相似文献