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171.
激光直写邻近效应的校正   总被引:12,自引:1,他引:11  
邻近效应是限制光刻系统分辨力的一个重要因素,它也限制了激光直写在亚微米和亚半微米光刻中的应用。分析了激光直写邻近效应产生的原因,指出它和电子束直写及投影光刻的区别,提出了一种简便有效的邻近校正方法。实验表明,通过光学邻近校正(OPC),利用微米级激光直写系统,制作出了0.6μm的实用光刻线条  相似文献   
172.
激光直写邻近疗效应的校正   总被引:3,自引:0,他引:3  
杜惊雷  邱传凯 《光学学报》1999,19(7):53-957
邻近效应是限制光刻系统分辨力的一个重要因素,它也限制了激光直写在亚微米和亚半微微米光刻中的应用,分析了激光直写邻近效应产生的原因,指出它和电子束直写及投影光刻的区别,提出了一种简便有效的邻近校正方法,实验表明,通过光学邻近校正(OPC),利用微米级激光直写系统,制作出0.6μm的实用光刻线条。  相似文献   
173.
芦丁和维生素C的近红外漫反射光谱技术定量分析研究   总被引:18,自引:1,他引:17  
首次利用近红外漫反射技术和偏最小二乘法定量分析了复方芦丁片的主组分芦丁和维生素C混合样品的含量,所建立的预测方程对样品的预测值和真实值之间的相关系数为99.75%,芦丁和维生素C定标标准差分别为0.363%和1.078%。该方法快速、准确、不破坏样品。  相似文献   
174.
用灰阶编码掩模实现邻近效应精细校正的研究   总被引:4,自引:1,他引:3  
提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法,并阐述了新方法的特点,讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果,校正后的综合面积偏差比较正前减少了10%。  相似文献   
175.
采用共沉淀法合成了ZrO2与Al2O3的不同质量比的ZrO2-Al2O3复合氧化物,并以此为载体通过等体积浸渍法制备了1.5% Pt/ZrO2-Al2O3w/w)催化剂。以C3H6和CO为反应物的催化性能评价显示,在系列催化剂中以Pt/Zr(0.4)-Al2O3催化剂催化氧化活性最为优异,其C3H6和CO的起燃温度(T50)小于125℃,完全转化温度(T90)小于150℃。采用XRD、低温N2吸附、H2-TPR、CO脉冲吸附等分析表征技术探索了催化剂物相结构、比表面积、颗粒尺寸等对催化活性的影响规律。结果发现,ZrO2-Al2O3复合氧化物具有Al2O3材料的介孔织构和大比表面积特性,且产生了AlxZr1-xOy固溶体新物相。适当的ZrO2与Al2O3的质量比,是改善Pt与ZrO2-Al2O3的相互作用强度,促进贵金属Pt的分散,提升Pt/ZrO2-Al2O3催化剂的低温氧化活性的关键。  相似文献   
176.
SCO2循环的部件性能随系统负载降低会发生显著变化。因此,本文首先建立了10 MW输出功率的SCO2再压缩循环。然后分别在库存控制和涡轮旁通控制下研究了系统的非设计性能。结果表明,当系统负载减小到10%时,库存控制的热效率降至21.04%,再压气机趋向失速;涡轮旁通控制的热效率至13.56%,压气机发生堵塞。基于此,提出了库存–旁通混合控制策略。该混合策略的使用改善了两单一策略下的压气机运行状态,且系统性能介于两单一策略的之间。  相似文献   
177.
NiCl2·6H2O催化芳基硼酸的自身偶联反应   总被引:1,自引:0,他引:1  
 通过筛选一系列有机溶剂,发现在吡啶中,以碳酸钾作碱,价廉易得的NiCl2·6H2O能催化芳基硼酸发生自身偶联反应生成对称的联芳烃,该反应收率较高,并可暴露在空气中进行.  相似文献   
178.
利用1H NMR技术研究了离子/非离子表面活性剂形成的二元混合体系,结果显示表面活性剂的混合导致各组分的临界胶束浓度(CMC)均比各自纯溶液有所降低,用吸附平衡理论清楚地解释了这个现象.通过定量分析,发现不同的表面活性剂混合使得其组分CMC降低的程度各异,可以理解为它们吸附于界面单分子吸附层上的分子之间相互作用的不同(相吸或相斥)引起的.由此揭示了"协同效应"的实质,可以为选择适当的表面活性剂类型和混合比例以达到预期的性能提供有力的参考.  相似文献   
179.
介绍了缪子的基本物理性质及产生过程,同时,依据缪子来源将缪子源分为加速器缪子源和宇宙线缪子源,阐述了缪子与物质相互作用及其探测技术,尤其关注了缪子成像技术的进展,展示了缪子成像技术在建筑学、地质学、地球物理和核安全等领域的多学科应用.  相似文献   
180.
碳纳米材料(carbon nanomaterials, CNMs)是一类具有优异物理化学特性的新型材料. CNMs在广泛应用过程中不可避免地进入环境,对环境中的生物体造成一定危害.同时,环境中的CNMs在自然条件下可能会发生降解,而降解后的CNMs由于材料结构和性质上的改变进而影响其生物毒性.因此,亟需对CNMs环境降解途径系统地进行探究和总结.本综述围绕CNMs的生物降解和非生物降解这两种主要的降解方式展开.生物降解包括酶降解、细菌降解和细胞降解,非生物降解则重点阐述了光降解和(光)化学降解这两大过程.通过系统总结降解的反应条件、降解终点、中间产物和终产物等降解特性,最终揭示了CNMs环境降解的规律和机制.此外,我们结合尚未明了的降解机制和降解的环境限制条件对CNMs降解研究中面临的挑战和发展方向进行了展望.本综述为深入理解CNMs的环境归趋和长期环境风险提供了重要的理论支持.  相似文献   
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