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圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法 总被引:4,自引:0,他引:4
从理论上提出了圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法 ,并通过计算机模拟验证了其收敛性及精确性 ,证明这种算法对解决 36 0°面形测量问题具有重要的意义。 相似文献
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提出了一种基于L-K局域光流的空间视线面形测量技术.测量系统由一个投影仪和一个CCD摄像机组成,采用小投影角度的投影方式.通过投影光线与视线(观测光线)的交点坐标,直接计算得出被测物体三维面形高度分布,其中条纹图中观察位置的变化由L-K光流算法计算得到.建立了在点光源投影条件下投影光线与视线交点坐标、光流与被测物体面形高度之间的关系.模拟与实验结果证明该方法能够准确恢复被测物体高度.与传统面形测量方法不同,视线光流面形测量技术不需要采集多幅条纹图像,也无需计算条纹频率和物体相位值,只需两幅条纹图即可恢复物体面形高度分布. 相似文献
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利用空间坐标变换的三维测量系统 总被引:6,自引:0,他引:6
提出了一种新的三维面形测量合成方法,它可以用于大物体及具有复杂而形物体的多次测量,本文将空间坐标变换理论引入到三维面形测量中,并阐述了基于此物相转换方法及图像合成方法。测量结果表明,本方法可以基本消除传统方法中存在的问题,解决了三维测量中的一个瓶颈问题。 相似文献
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子孔径拼接干涉仪中子孔径定位精度难以在大行程范围内得到保证,为此本文提出了基于提取标记点中心定位子孔径的拼接方法。以标记点的中心坐标为标记点坐标,根据标记点在两子孔径局部坐标系下的坐标计算两子孔径之间的坐标变换,将所有子孔径数据坐标变换到统一坐标系下,利用机械误差补偿算法拼接出全口径面形。在搭建的拼接检测系统上实现了外径468 mm的平面镜抛光过程和最终的全口径面形测量,加工过程中的测量结果为面形误差修正提供了准确的数据,保证了最终全口径面形误差RMS快速收敛到35 nm。实验证明,基于提取标记点中心的子孔径拼接检测能放宽对机械定位精度的要求,有效检测大口径光学元件面形。 相似文献
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利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的方法 总被引:5,自引:5,他引:0
为了获得准确的面形测量,提出了一种相移电子散斑干涉技术测量物体面形的测量方法.利用电子散斑干涉产生载波条纹,该载波条纹受到物体表面高度的调制变得弯曲,引起载波条纹相位的变化,可运用相移技术提取物体的相位信息,最后根据高度和相位之间的关系得到物体的面形.介绍了该方法的原理,利用该方法对球冠物体进行了面形测量,证明该方法测量物体面形是可行性的.由于是采用散斑干涉的方法产生干涉条纹,因此该方法测量物体面形具有灵敏度高的优点. 相似文献
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偏折术作为一种高精度的面形检测方法,其测量精度不仅依赖于系统参数的标定精度,还受到显示器面形的影响,尤其是对于常用的基于平面镜反射模型实现系统标定的偏折术测量系统,显示器面形还会直接影响系统参数的标定精度。为了研究显示器面形对拼接偏折术测量精度的影响,首先预设了不同形变量的显示器面形,再依据提出的计算方法分析了其对系统标定精度以及测量精度的影响,结果证明显示器面形不仅会降低系统参数的标定精度,还会在待测元件的面形测量结果中引入较大的低阶项及高阶项误差。最后通过与实验结果对比,进一步验证了所提出方法的正确性,该研究为拼接偏折术检测系统的测量误差提供了一种定量计算分析方法。 相似文献
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A novel measurement scheme for a three dimensional (3D) curved surface area is proposed. This scheme consists of three steps. First, a light-pen single-camera 3D coordinate vision measurement system is devised to obtain the 3D coordinates of a detected curved surface. Second, an improved 3D deformable surface model is applied to converge to the curved surface accurately. Finally, for the convergent deformable surface, the surface area is computed using an integration scheme based on a two-triangle area computation. An experiment on a small curved surface area measurement indicates that this scheme's measurement repetition error decreases to 0.5%, when the parametric step lengths of the deformable surface are 0.1. 相似文献
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阶跃样品显微测量时,样品三维形貌本身丰富的阶跃信息极易受到噪声高频信号的干扰,如何在滤除噪声的同时保持三维形貌的阶跃特征,实现对样品表面三维形貌信息的高精度测量是一个重要研究问题。利用小波函数良好的空间域和频率域的局部化特性,针对阶跃型样品的特点选取Haar小波,并采用一种基于模平方的阈值处理方法对三维形貌信息小波去噪方法进行研究。将该方法应用在本课题组研制的激光差动共焦显微镜扫描台阶样品得到的三维高度轮廓中,去噪后测量样品高度与OLYMPUS共焦显微镜扫描结果相对比,误差为0.146 8 nm,满足三维形貌信息后续测量分析的要求,证明了算法的有效性。 相似文献
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Akihisa Takeuchi Yasuko Terada Yoshio Suzuki Kentaro Uesugi Sadao Aoki 《Journal of synchrotron radiation》2009,16(5):616-621
A confocal full‐field X‐ray microscope has been developed for use as a novel three‐dimensional X‐ray imaging method. The system consists of an X‐ray illuminating `sheet‐beam' whose beam shape is micrified only in one dimension, and an X‐ray full‐field microscope whose optical axis is normal to the illuminating sheet beam. An arbitral cross‐sectional region of the object is irradiated by the sheet‐beam, and secondary X‐ray emission such as fluorescent X‐rays from this region is imaged simultaneously using the full‐field microscope. This system enables a virtual sliced image of a specimen to be obtained as a two‐dimensional magnified image, and three‐dimensional observation is available only by a linear translation of the object along the optical axis of the full‐field microscope. A feasibility test has been carried out at beamline 37XU of SPring‐8. Observation of the three‐dimensional distribution of metallic inclusions in an artificial diamond was performed. 相似文献
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三维面形测量技术的新进展 总被引:20,自引:0,他引:20
三维面形测量是获取物质形态特征的一种重要手段,也是记录,比较,复制物体形态特征 的基础,三维面形测量技术在机器视觉,自动加工,工业检测,产品质量控制,实物仿形,生物和医学等领域具有重要意义和广阔的应用前景。 相似文献