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我国低温等离子体科学技术的发展大体上与国际发展的趋势相近.60年代是以航天应用为推动力,70年代开始了热等离子体的工业应用研究,80年代发展极为迅速,尤其是冷等离子体方面.我国的低温等离子体工作开展面很广,研究单位很多,在国际上也有一定影响.较强的领域是在航天应用,数值模拟工作,超细粉合成,各类簿膜的沉积、聚合等方面.较弱的领域是在化工冶金应用与微电子学应用方面,而且深入细致的机理研究与相应的诊断工作也较少. 相似文献
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应用低温等离子体改善材料的粘结性能 总被引:2,自引:1,他引:1
本文介绍了应用低温等离子体改善高分子材料的粘结性能.经低温等离子体表面改性后,聚丙烯薄膜的粘结强度可以提高10倍,改性效果取决于低温等离子体参数的选择. 相似文献
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低压等离子体在半导体器件制造中的应用是一个十分活跃的研究课题.从七十年代初将等离子体技术用于去除光致抗蚀剂以后,不久就相继开发了硅材料、导电材料和掩膜材料的干法蚀刻技术以及薄膜淀积技术.干法蚀刻由于比以往的湿法工艺具有成本低、线条分辨率高、对环境污染少和自动 相似文献
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本文介绍了我国在核聚变和高温等离子体、基础等离子体、天体等离子体和空间等离子体、低温等离子体及其应用、等离子体理论等方面的研究概况.文中不仅介绍了实验装置的参数和主要的诊断设备,而且还简述了当前实验和理论方面的研究课题. 相似文献
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低温等离子体技术与生物医学似乎是两种风马牛不相及的事物,可是两者的结合却可以对现代科技发展产生重要的影响.许多人都认为21世纪是生物技术的世纪,可见人们对生物技术发展抱着怎样的期待.低温等离子体技术正在成为生物材料和生物医学器件的生产和研究的广阔的平台.文章简要介绍了一些用于材料表面改性的技术以及低温等离子体技术在生物医学方面的应用,并进而讨论了将低温等离子体技术与生物技术相结合的途径以及还需要解决的问题.文章还详细讨论了一种用于表面功能化的脉冲等离子体技术方法作为二者最佳结合的一个典范.文章最后指出,生物医学与等离子体技术的完美结合可能对21世纪的科技发展产生革命性的影响;而为了实现这个目标。需要多学科专家的通力合作. 相似文献
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一、低温等离子体概述 等离子体是一种电离的气态物质,称为物质第四态,宇宙中99.9%的物质都处于等离子体态.它由带电的电子、离子和中性粒子组成.粒子之间不断碰撞发生能量交换,同类粒子之间容易通过碰撞交换能量达到热力学平衡,因而有电子温度Tc,离子温度T1气体温度Ts按照研究的不同目的,等离子体可以作不同的分类.根据温度分为高温等离子体和低温等离子体.当电子温度105-108K时,称为高温等离子体,属于热力学平衡或局部热力学平衡等离子体,如太阳上的等离子体和核聚变等离子体等.当电子温度为3×102-105K时称为低温等离子体.低温等离子体… 相似文献
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隐身技术是提高作战系统生存、突防,尤其是纵深打击能力的有效手段,已经成为集陆、海、空、天、电、磁等多维一体的立体化现代战争中最重要最有效的突防战术技术手段.等离子体隐身技术是一种新概念、新原理的隐身技术,是一种反雷达探测的新技术,其核心是电磁波与等离子体的相互作用.近几年来等离子体隐身技术以其独有的优势而倍受世界各国青睐,成为隐身领域的研究热点,并在航空航天方面取得重大突破.据称,采用等离子体隐身技术后目标被雷达发现的概率可减小99%以上,即可实现“全隐身”. 相似文献
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我国低温等离子体研究进展(Ⅰ) 总被引:7,自引:0,他引:7
低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视.在等离子体中发现的一些有趣的物理现象,如磁场重联、尘埃等离子体等,使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮.在应用方面,几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置,这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及,包括微电子工业中的等离子体工艺,各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性,等等.随着低温等离子体技术的发展,低温等离子体的诊断技术也随之发展起来.文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展,介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题. 相似文献
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我国低温等离子体研究进展(Ⅱ) 总被引:1,自引:0,他引:1
5低温等离子体应用
随着我国国民经济的发展,低温等离子体的应用获得了越来越多的重视,这从国内越来越多的等离子体实验室的成立,和一些小的实验室扩大成地方的重点实验室可以得到证明.事实上,大多数涉及到材料或物质的理工科实验室都会有一些与低温等离子体有关的装置或研究,无论该实验室是研究物理的、化学的、生物的或各类工程的,毕竟宇宙中99%以上的物质处于等离子体态.下面就我国低温等离子体的应用方面分类举一些例子. 相似文献
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本文给出了超细粉末的有关概念,叙述了超细粉末在陶瓷材料、磁记录材料和催化剂材料方面的应用.介绍了用无极放电产生无污染的等离子体,用等离子体作为高效率的工作物质来合成超细粉末的方法.简要地解释了用等离子体法合成超细粉末的有关机理. 相似文献
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近年来,薄膜材料在国民经济和新技术各领域中发挥了重要的作用。它的迅速发展,无疑也和等离子体在薄膜技术中的广泛应用有关,气体放电等离子体中的高能带电粒子和中性粒子,有助于克服气相沉积化学反应的能障,影响其动力学过程,改变薄膜的结构和性能,从而得到用其它工艺难以制备的材料. 一、气体放电等离子体 气相沉积中采用的等离子体通常是用辉光、电弧、高频或微波、高压电晕等放电形式产生的,其共同特点是其正负电荷数大体相等,即存在宏观的电中性. 等离子体和气体类似,可用若干特征参数来描述.对于气体反应,分子平均自由程λ和它与反应… 相似文献