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衬底温度对PLD法生长的Mg0.05Zn0.95O薄膜结构和发光特性的影响
引用本文:吴小丽,陈长乐,韩立安,罗炳成,高国棉,朱建华.衬底温度对PLD法生长的Mg0.05Zn0.95O薄膜结构和发光特性的影响[J].物理学报,2008,57(6).
作者姓名:吴小丽  陈长乐  韩立安  罗炳成  高国棉  朱建华
摘    要:用脉冲激光沉积(PLD)法在不同温度的Si(111衬底上成功制备了c轴择优取向的Mg0.05Zn0.95O薄膜.通过X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)研究了衬底温度对Mg0.05Zn0.95O薄膜结构和发光特性的影响,探讨了膜的结晶质量与发光特性之间的关系.结果表明,在衬底温度为450℃时生长的Mg0.05Zn0.95O薄膜具有很好的轴取向和较强的光致发光峰.室温下分别用激发波长为240,300和325nm的氙灯作为激发光源得到不同样品的PL谱,分析表明紫外发光峰和紫峰来源于自由激子的复合辐射且发光强度与薄膜的结晶质量密切相关,蓝绿发光峰与氧空位有关.此外,探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理.

关 键 词:Mg0.05Zn0.95O薄膜  PLD  衬底温度  光致发光  衬底温度  生长  薄膜结构  发光特性  温度影响  photoluminescence  structure  substrate  temperature  Influence  pulsed  laser  deposition  机理  蓝移  红移  紫外光  氧空位  相关  发光强度  复合辐射  自由激子  来源

Influence of substrate temperature on the structure and photoluminescence of Mg0.05Zn0.95O thin films grown by pulsed laser deposition
Wu Xiao-Li,Chen Chang-Le,Han Li-An,Luo Bing-Cheng,Gao Guo-Mian,Zhu Jian-Hua.Influence of substrate temperature on the structure and photoluminescence of Mg0.05Zn0.95O thin films grown by pulsed laser deposition[J].Acta Physica Sinica,2008,57(6).
Authors:Wu Xiao-Li  Chen Chang-Le  Han Li-An  Luo Bing-Cheng  Gao Guo-Mian  Zhu Jian-Hua
Abstract:
Keywords:
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