| 空气和氧气气氛下p-GaN/Ni/Au合金性质 |
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| 引用本文： | 杨华,秦志新,陈志忠,胡成余,胡晓东,于彤军,杨志坚,张国义.空气和氧气气氛下p-GaN/Ni/Au合金性质[J].发光学报,2004,25(6):691-695. |
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| 作者姓名： | 杨华 秦志新 陈志忠 胡成余 胡晓东 于彤军 杨志坚 张国义 |
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| 作者单位： | 北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871;北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871;北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871;北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871;北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871;北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871;北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871;北京大学,物理学院,人工微结构与介观物理实验室,北京,100871 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60376005,60276010),国家"863"高技术计划(2001AA313140,2001AA313060)资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了p-CaN上的Au／Ni双金属层在空气气氛和氧气气氛下合金对其欧姆接触性质的影响。使用同步辐射高强度X射线衍射观察到明显的NiO衍射峰。随着合金时间的增加,NiO和Au的结晶性均明显变好,NiO的衍射峰强度随合金时间的增加而增强,同时发现Au(111)沿CaN的(0001)面择优形成单晶。测得Ni／Au-p-CaN-Ni／Au串联电阻在合金后明显降低,表明接触性质改善与结晶性的提高有关。同时发现氧气下合金比空气下合金形成NiO更快,相应的串联电阻也更快地下降。
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| 关 键 词： | 氮化镓 欧姆接触 同步辐射X射线衍射 |
| 文章编号： | 1000-7032(2004)06-0691-05 |
| 修稿时间： | 2004年1月15日 |
Characteristics of Ni/Au Contact to p-GaN Annealed in Air and Oxygen Ambient |
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| YANG Hua,QIN Zhi-xin,CHEN Zhi-zhong,HU Cheng-yu,HU Xiao-dong,YU Tong-jun,YANG Zhi-jian,ZHANG Guo-yisics,School of Physics,Peking University,Beijing ,China.Characteristics of Ni/Au Contact to p-GaN Annealed in Air and Oxygen Ambient[J].Chinese Journal of Luminescence,2004,25(6):691-695. |
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| Authors: | YANG Hua QIN Zhi-xin CHEN Zhi-zhong HU Cheng-yu HU Xiao-dong YU Tong-jun YANG Zhi-jian ZHANG Guo-yisics School of Physics Peking University Beijing China |
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| Institution: | YANG Hua,QIN Zhi-xin,CHEN Zhi-zhong,HU Cheng-yu,HU Xiao-dong,YU Tong-jun,YANG Zhi-jian,ZHANG Guo-yisics,School of Physics,Peking University,Beijing 100871,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaN Ohmic contact synchrotron radiation XRD |
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