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本文叙述了大口径锂超声速流中性化器的研制。装置口径为120毫米,用马赫数为2.71的定向锂蒸汽流作靶,靶厚可达10~(15)原子/厘米~2以上。并给出了超声速气流靶的有关计算公式,测量了通过喷管的蒸汽流量、靶厚、汽流密度的空间分布和张角,并与理论进行了比较。 相似文献
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LZ-50离子注入装置及其在材料表面改性中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
本文叙述了LZ-50离子注入装置及其在材料表面改性中的应用。该装置离子能量80keV,氮离子束流强~10mA,注入面积~200cm~2,性能稳定,重复性好,可长期稳态运行。利用该装置对硬质合金、工具钢、钛合金、陶瓷及其它有色金属材料进行了氮离子注入实验,并取得了一些有应用价值的工艺结果,如离子注入使Co-WC机械夹固刀片的耐磨性能提高2—4倍。 相似文献
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