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1.
发射光谱法在等离子体刻蚀废气微量F元素检测中的应用研究
刘慧杰
黄光周
《光谱实验室》
2005,22(2):247-252
以CF4Ar为等离子体刻蚀废气的模拟气体 ,利用发射光谱法分析F。含氟废气中 F原子的发射光谱在6 0 0— 80 0 nm波段内的谱线为 6 97.5 nm和 739.5 nm。研究了电感耦合等离子体放电时射频功率对F元素检测的影响 ,表明提高射频功率可降低 F元素检出限。
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