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1
1.
射频等离子体离子能量分布特性研究
邢海龙
金伟
梁传辉
代波
任勇
毛新春
王东平
王小英
陈长安
《核聚变与等离子体物理》
2021,41(4):598-602
利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低能端移动,且离子通量密度逐渐降低;而氮-氘混合等离子体生成的氨系离子 ND
4
+
,峰值离子能量随氘气进气速率先降低后上升,通量密度先增大后降低。
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