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本工作用劳埃法对分布于三十二炉的四百多个碳化硅单晶进行了类型分布、连生规律和结构完整性等的分析。大量的观察表明,碳化硅片状晶体中的共轴平行连生是一种普遍的现象,二种以上类型的连生占晶体总数的三分之二。文中列出了各种连生类型的统计。系统地报导了SiC晶体连生状况的X射线法实验结果。对各炉晶体所作的类型分布的分析表明,不同的制备条件下影响较大的是颜色和结构完整度。类型分布的规律性并不明显,邻近的晶体类型可以完全相异。用实验数据分析了类型、颜色和蚀坑间的关系。对碳化硅多型体产生的机理作了讨论。 相似文献
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应用范德保法测量了电阻率在10-3—102欧姆·厘米范围的n型和p型碳化硅单晶和外延层的电学性质。进行了测定条件的选择,范德保法与普通法的对照等试验。发现接触电阻的大小和稳定程度对测量结果有极大的影响。在铟、紫铜、锡、磷铜等机械接触中,铟电极具有最低的接触电阻,其他电极须经电冶成方能进行测定。在不同的电极材料和样品电流下,电阻率偏离约2%,指出,样品电流应当根据具体样品的电阻率和接触电阻加以选择。与普通法比较,范德保法精确度高,数据重复性好。测量了自室温至1000°K范围内碳化硅单晶的高温电学性质,求得氮施主的电离能为0.056电子伏。讨论了引起实验误差的一些异常现象及其产生原因。 相似文献
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