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基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制 总被引：3，自引：0，他引：3
基于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用 ＭＥＭＳＩ艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力,极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明,纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下,显著的降低残余应力的不良影响,大幅度增加膜的灵敏度。本文提出了一种使用ＭＥＭＳ技术制作的纹膜结构电容式微传声器,其制作工艺简单、重复性好,所用材料也能与 ＩＣＩ艺很好的兼容。圆片级测试的结果表明,在 １０ Ｖ的偏置电压下,这种微传声器在 ７ ｋＨｚ以下具有平直的频响,开路灵敏度可达 ４０ ｍv／Ｐａ,而其占用的芯片面积仅为 １．５ ×ｌ．５ ｍｍ２。进一步的研究可望将信号处理电路集成于片内,形成完整的微声学系统。 相似文献
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金属纳米颗粒-聚电解质多层膜的X射线反射率研究 总被引：1，自引：0，他引：1
用静电自组装技术制备了不同层数的Au纳米颗粒-聚电解质多层膜,用X射线反射及原子力显微镜对膜的微结构进行了表征.研究发现,当Au纳米颗粒下面的聚电解质层较薄时,膜中无清晰的界面结构;随着Au纳米颗粒下面的聚电解质层的增厚,金属-聚电解质多层膜的界面变得越来越清晰. 相似文献
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