排序方式: 共有15条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1.
金刚石膜合成条件下的鞘层与等离子体参数分布 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报导了在用热阴极直流放电等离子体化学气相沉积(通常也称EACVD.即电子辅助化学气相沉积)方法合成金刚石的条件下的等离子体密度、电子温度、等离子体空间电位分布及基片附近等离子体鞘结构,并讨论其对成膜的影响. 相似文献
2.
3.
4.
5.
本文计算了在CT-6托卡马克上进行电子回旋共振加热实验时对应不同窗口、不同入射角的反常波轨迹。对于发射结构是开口圆波导的情况也进行了初步的分析和计算。由于采用的是准垂直色散关系,所以只能给出大角度入射的结果。 相似文献
6.
7.
表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析 总被引:6,自引:0,他引:6
本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;同时还采用 3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理 ,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算。两种方法均得到膜中sp3含量在 2 0 %~ 4 0 %之间 ,且随沉积时间的增加而增加。 相似文献
8.
9.
The atmospheric pressure surface barrier discharge (APSBD) in air has been used in killing Escherichia coli (E.coli), There is almost no bacterial colony in the sample after treatment by discharge plasma for 2rain, A diagnostic technique based on mass spectrum has been applied to the discharge gas and the mechanism of killing is discussed. Ozone and monatomic oxide are considered to be the major antimicrobial active species. There is almost no harmful by-product. The experiment proves that APSBD plasma is a very simple, effective and innocuous tool for sterilization. 相似文献
10.