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1.
金刚石膜合成条件下的鞘层与等离子体参数分布   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文报导了在用热阴极直流放电等离子体化学气相沉积(通常也称EACVD.即电子辅助化学气相沉积)方法合成金刚石的条件下的等离子体密度、电子温度、等离子体空间电位分布及基片附近等离子体鞘结构,并讨论其对成膜的影响.  相似文献   
2.
 在量子理论的框架内,利用含强激光场的二级相对论修正的运动方程,采用直接数值解法,着重研究了强激光场和Debye屏蔽库仑场下荷电粒子的碰撞截面及其与激光脉冲波形、频率、强度和屏蔽参数等的关系。  相似文献   
3.
采用两种不同脉宽 ( 30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光淀积类金刚石薄膜 ,通过等离子体发射光谱和离子探针的测量 ,研究了激光等离子体成分、平均离子能量和通量等随激光能量密度、淀积距离的变化 ,对两种脉宽的激光等离子体淀积的薄膜结构和性能进行了比较 ,并且研究了激光等离子体特性对淀积薄膜类金刚石性能的影响  相似文献   
4.
金刚石薄膜的合成及相应的等离子体状态   总被引:3,自引:0,他引:3  
  相似文献   
5.
本文计算了在CT-6托卡马克上进行电子回旋共振加热实验时对应不同窗口、不同入射角的反常波轨迹。对于发射结构是开口圆波导的情况也进行了初步的分析和计算。由于采用的是准垂直色散关系,所以只能给出大角度入射的结果。  相似文献   
6.
氩气掺入对类金刚石沉积过程的影响   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
在电子助进化学气相沉积(EACVD)类金刚石薄膜中,使用和比较CH4/H2与CH4/H2/Ar两种体系,用静电探针测量这两种体系的电子温度、电子密度,结果表明,在CH4/H2/Ar体系中,电子密度较高,使成膜的速率增加。 关键词:  相似文献   
7.
表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析   总被引:6,自引:0,他引:6  
本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;同时还采用 3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理 ,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算。两种方法均得到膜中sp3含量在 2 0 %~ 4 0 %之间 ,且随沉积时间的增加而增加。  相似文献   
8.
大气压辉光放电研究现状及应用前景   总被引:5,自引:0,他引:5  
张锐  刘鹏  詹如娟 《物理》2004,33(6):430-434
大气压辉光放电由于均匀性好、能量效率高并且不需要真空系统,正日益受到人们重视和研究.文章综述了大气压辉光放电的研究进展,包括实验条件、放电特征、放电机理以及最新的诊断方法,还介绍它在薄膜沉积、材料表面改性、污染物质的消毒去污等方面的应用前景.  相似文献   
9.
徐蕾  张锐  刘鹏  丁丽莉  詹如娟 《中国物理》2004,13(6):913-917
The atmospheric pressure surface barrier discharge (APSBD) in air has been used in killing Escherichia coli (E.coli), There is almost no bacterial colony in the sample after treatment by discharge plasma for 2rain, A diagnostic technique based on mass spectrum has been applied to the discharge gas and the mechanism of killing is discussed. Ozone and monatomic oxide are considered to be the major antimicrobial active species. There is almost no harmful by-product. The experiment proves that APSBD plasma is a very simple, effective and innocuous tool for sterilization.  相似文献   
10.
超短脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜的实验研究   总被引:9,自引:0,他引:9  
利用KrF超短脉冲激光器开展了超短脉冲激光淀积金刚石薄膜实验研究,薄膜生长速率0.02nm/pulse,厚度0.5-0.6μm,显微硬度55GPa,光学透过率优于90%,采用等离子本的时间-空间分辨的发射光谱技术,给出了等离子体的粒子成份以及等离子体的时间-空间的演化图像,以及在不同激光参数条件下等离子体特性的变化,发现超短脉冲激光的等离子体有能量高、持续时间短(高通量)的特点,适合类金刚石薄膜的  相似文献   
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