Research on the resolution of micro stereo lithography

Micro stereo lithography is a kind of technology utilizing the solidified effect that photo curable polymer will appear under ultraviolet （UV） laser exposure. It is widely used in three-dimensional （3D） micro fabrication. We get the experimental values of a pair of UV laser curing coefficients, absorption coefficient and critical curing energy, of curable resin by fitting the calculation results of the Gaussian beam theory and experimental curing results. The theoretical relation between the curing unit＇s shape and the exposure features of time and intensity of convergent Gaussian beam is presented. The calculation and experimental results of curing unit under different conditions agree well with each other. This research offers a steady base for further research about the improvement of resolution.     

微细光束固化的蒙特卡罗建模

光固化是光束与光敏树脂之间的光化学反应,其作用过程对光固化加工分辨率有着直接影响.基于光子输运理论,利用蒙特卡罗方法追踪光子往树脂中的运动轨迹,对曝光光束人射、传输过程进行抽样,建立了微细光束固化模型;利用遗传算法并结合光同化实验重构获得了树脂材料的光学参数;利用该崮化模型,模拟计算了微细会聚紫外光束(λ=365 nm)单点曝光同化过程和固化单元点的形状和大小,分析了不同曝光最对固化结果的影响规律,计算结果与实验结果一致.研究表明,该模型可以有效地对微细光束与光敏树脂作用的复杂过程进行仿真,并能对不同入射光和曝光工艺条件下的固化物进行模拟计算,为微细光固化机理的研究和工艺优化提供了基础.     

基于蒙特卡罗方法的光固化模拟

采用蒙特卡罗方法分析了光子在树脂中的输运过程,建立了紫外光单点固化模型,并进行了单点固化过程的模拟计算,通过曝光固化实验验证了该算法的可靠性.理论模拟和实验结果表明,当曝光能量达到临界值,固化点的高度和直径随曝光时间、功率的增大呈对数关系增大.利用该算法可以模拟各种不同光强分布的曝光固化过程,为加工分辨率的提高和工艺参量的优化提供理论基础.