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在低压化学气相沉积条件下,金刚石附氢表面脱氢势垒的大小是金刚石薄膜生长动力学的重要理论参数,前人用不同方法对该势垒值的计算给出了很不一致的理论结果,本文应用多种分子轨道方法对金刚石附氢(111)面的脱氢势垒进行了系统研究,比较了各方法计算的过滤态结构,给出了修正的理论预言值,并论证了不同分子轨道方法计算结果的优劣,评价了前人不相一致的理论结果。 相似文献
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金刚石(111)氢化表面脱氢势垒的量子化学研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用MNDO(UHF)方法,计算金刚石(111)面的脱氢势垒。在与气相有机分子脱氢活化能实验值系统比较的基础上,在一组尺度不同的金刚石表面团簇模型上进行了计算,结果收敛于42±4kJ/mol.并与MNDO(RHF)和AM1(UHF、RHF)方法给出的相应结果进行了比较。 相似文献
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采用MNDO(UHF)方法计算了金刚石(100)-(1×1):2H双氢化表面和(100)-(2×1):H单氢化表面的脱氢势垒,论证了决定金刚石附氢表面脱氢势垒大小的主要因素是气相-表面吸附氢原子间的相互排斥大小,得出(100)面两种表面结构脱氢势垒的理论预言值分别为71和59kJ·mol-1,均大于(111)面脱氢势垒的理论预言值42kJ·mol-1.揭示了在同等生长条件下金刚石(111)面可供成核和生长的反应基多于(100)面,与实验上得到的同等生长条件下(111)面的相对生长率大于(100)面的结论是一致的。 相似文献
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主要用AM 1半经验分子轨道方法对S1 0 、S1 1 和S1 2 的几何结构进行了计算 ,并比较了不同构型的稳定性。 相似文献
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主要用AM1半经验分子轨道方法对S10、S11和S12的 几何结构进行了计算,并比较了不同构型的稳定性。 相似文献
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