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专业分类
物理学
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出版年
1991年
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1.
Au/a-Si:H界面X射线光电子能谱和俄歇电子能谱研究
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钟战天
王大文
廖显伯
范越
李承芳
牟善明
《物理学报》
1991,40(2):275-280
采用x射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)对Au/a-Si:H界面进行了研究。实验表明,Au/a-Si:H界面最初形成过程是以金属团生长形式出现,当Au淀积量超过一定值后,Au和Si开始互扩散并进行化学反应,结果形成Au-Si互溶区。利用光发射方法证实,热处理Au/a-Si:H界面导致淀积膜中Si岛形成。
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