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1.
聚焦电子/离子束技术的原理及应用
田吴翟
方靖岳
张学骜
《大学物理实验》
2013,(3):50-54
总结近几年来聚焦电子/离子束双束技术的发展概况和主要应用领域,主要对双束系统的结构、原理及其在刻蚀、沉积、离子注入、显微成像和能谱分析等几方面的应用发展进行介绍,讨论双束技术未来发展的趋势。
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