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物理学   2篇
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C3N4/TiN交替复合膜的微结构研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
  相似文献   
2.
C3N4/TiN交替复合膜的微结构研究   总被引:5,自引:1,他引:4       下载免费PDF全文
采用双阴极封闭型非平衡磁场dc反应磁控溅射离子镀制备C3N4/TiN复合交替膜,用X射线光电子能谱法分析了薄膜的组成,测量了薄膜的X射线衍射谱和氮化碳的透射电子衍射图像.氮化碳经氮化钛的强迫晶化作用,生成了β-C3N4和c-C3N4. 关键词:  相似文献   
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