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专业分类
物理学
2篇
出版年
1999年
2篇
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1
1.
C3N4/TiN交替复合膜的微结构研究
总被引:1,自引:0,他引:1
下载免费PDF全文
吴大维
付德君
毛先唯
叶明生
彭友贵
范湘军
《物理学报》
1999,(5)
相似文献
2.
C
3
N
4
/TiN交替复合膜的微结构研究
总被引:5,自引:1,他引:4
下载免费PDF全文
吴大维
付德君
毛先唯
叶明生
彭友贵
范湘军
《物理学报》
1999,48(5):904-912
采用双阴极封闭型非平衡磁场dc反应磁控溅射离子镀制备C
3
N
4
/TiN复合交替膜,用X射线光电子能谱法分析了薄膜的组成,测量了薄膜的X射线衍射谱和氮化碳的透射电子衍射图像.氮化碳经氮化钛的强迫晶化作用,生成了β-C
3
N
4
和c-C
3
N
4
.
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