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激光干涉测长未对准误差分析   总被引：1，自引：0，他引：1  
杨新刚  黄玉美 《光子学报》2010,39(2):311-315
分析了激光干涉测长原理,建立了测长光路中角锥棱镜的光线偏移模型及内部光程模型,推导了忽略直线度误差及角度误差的未对准误差对定位误差测量结果影响关系的简洁表达式,进行了定位误差的测定实验,给出了未对准误差的一种定量评估方法.  相似文献   
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