连续波CO2激光辅助AuGeNi-InP合金

利用激光辅助合金的方法，生成InP表面AuGeNi-InP合金，并形成良好的欧姆接触，上下表面面间电阻为5．8Ω。研究了合金工艺参量（如合金时间、合金温度、镀膜厚度等）对形成欧姆接触性能的影响。