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物理学
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2015年
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1.
基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作
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王伟
贾志浩
段俊萍
崔建利
徐苏坪
张斌珍
《强激光与粒子束》
2015,27(2):024103
集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200 m,微柱侧壁与基底呈89。
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