基于超透射现象的带通滤光膜潜在失效模式分析

文章在理论方面利用亚波长孔阵结构透射峰位关系公式,针对光谱探测器件所需要的具备单峰窄带透射特性的介质-金属-介质的三层结构"双玻孔阵"结构模型的窄带单峰透射结果,基于现有的加工工艺对较常出现的上沿过刻、孔底残留和孔底过刻三种实验误差进行了潜在失效模式分析,与标准双玻孔阵模型对比结果,分析得到加工误差对窄带单峰透射的各种...