| 基于超透射现象的带通滤光膜潜在失效模式分析 |
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| 引用本文： | 孙哲,任玉,石晶,宋晨智,周建伟,蔡红星.基于超透射现象的带通滤光膜潜在失效模式分析[J].光学技术,2022,48(2):184-188. |
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| 作者姓名： | 孙哲 任玉 石晶 宋晨智 周建伟 蔡红星 |
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| 作者单位： | 长春理工大学理学院吉林省光谱探测科学与技术重点实验室,吉林长春130022 |
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| 摘 要： | 文章在理论方面利用亚波长孔阵结构透射峰位关系公式,针对光谱探测器件所需要的具备单峰窄带透射特性的介质-金属-介质的三层结构"双玻孔阵"结构模型的窄带单峰透射结果,基于现有的加工工艺对较常出现的上沿过刻、孔底残留和孔底过刻三种实验误差进行了潜在失效模式分析,与标准双玻孔阵模型对比结果,分析得到加工误差对窄带单峰透射的各种...
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| 关 键 词： | 近红外 双玻孔阵 带通滤光膜 表面等离激元 |
Potential failure mode analysis of band pass filter film based on super transmission phenomenon |
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| SUN Zhe,REN Yu,SHI Jing,SONG Chenzhi,ZHOU Jianwei,CAI Hongxing.Potential failure mode analysis of band pass filter film based on super transmission phenomenon[J].Optical Technique,2022,48(2):184-188. |
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| Authors: | SUN Zhe REN Yu SHI Jing SONG Chenzhi ZHOU Jianwei CAI Hongxing |
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