低温泵用吸附材料的研究概述

低温泵广泛应用于真空电子、半导体领域。低温泵的吸附材料对低温泵的工作性能有着重要的影响。综述了低温泵的吸附材料性能与研究现状。首先总结了吸附材料的表征方法及研究内容。然后分别叙述了分子筛、低温霜和活性炭三种低温泵主要用的吸附材料的工作性能,指出其优势和不足。最后以ITER用的低温泵为例说明低温吸附材料的应用。