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| 低温泵用吸附材料的研究概述 | |
| 引用本文： | 周家屹,孙庆艳,许令顺,武义锋.低温泵用吸附材料的研究概述[J].低温与超导,2014(1). |
| 作者姓名： | 周家屹 孙庆艳 许令顺 武义锋 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第16研究所;安徽万瑞冷电科技有限公司;安徽师范大学生命科学院; |
| 摘 要： | 低温泵广泛应用于真空电子、半导体领域。低温泵的吸附材料对低温泵的工作性能有着重要的影响。综述了低温泵的吸附材料性能与研究现状。首先总结了吸附材料的表征方法及研究内容。然后分别叙述了分子筛、低温霜和活性炭三种低温泵主要用的吸附材料的工作性能,指出其优势和不足。最后以ITER用的低温泵为例说明低温吸附材料的应用。 |
| 关 键 词： | 低温泵 分子筛 活性炭 低温霜 |
Review of absorbent material used in cryopump |
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