亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定

 采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5 μm、视场12 mm×12 mm 内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法。将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10 μm线宽。     

用于数字光刻的非对称式投影物镜设计

针对DMD数字光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计出了一套适用于型号 0.7XGA DMD的10片式光刻投影物镜。该物镜采用非对称性结构,前组为改进的三分离物镜,后组为匹兹伐物镜加平像场镜,分辨率为2 m,近轴放大倍率为-0.15,像方数值孔径NA为0.158,全视场波像差小于/20 ,畸变小于0.014%,焦深为20 m,通过各项评价可知系统已经达到了衍射极限。在对该镜头进行公差分析后,利用Monte Carlo方法,模拟组装加工了100组镜头,得到90%的镜头MTF＞0.46,50%的镜头MTF＞0.51,证明了这种非对称性结构加工和校装的可能性。     

非相干光作用下的Ce：BaTiO3自泵浦相位共轭镜特性

地Ｃｅ：ＢａＴｉＯ３晶体的自泵浦相位共竟然非相干光作用下自泵浦相位共轭反射率增强的特性进行了研究。实验是在Ｈｅ－Ｎｅ激光产生稳态自泵浦相位共轭输出后，用非相干光平行ｃ轴照射来获得这一增强特性的，当水平移动非相干光入射位置，发现有两个区域非相干光作用能使相位共轭反射率增加，本文对此进行了相应的分析和讨论。     

两聚物(C6H5F)+2的光解离光谱

使用质量选择的团簇离子光解离光谱技术,ＫａｚｎｈｉｋｏＯｈａｓｈｉ等人研究了两聚物离子苯的电子态谱[1],在可见到近红外波段,光谱分为两种类型:一种是局域激发带,它是出自于两聚体(Ｘ) 2中单体离子Ｘ 的局域电子激发跃迁;另一种则是电荷共振带.在两聚体(Ｘ) 2中,电荷...     

复合物邻二甲苯…NH3(ND3)分子间的振动

Resonant two photon ionization spectra of S1←S0 transition in complex o xylene…NH3(ND3) in supersonic molecular beam are observed using resonant two photon ionization,together with time of flight mass spectrometry. The spectra exhibit rich information on the complex intermolecular vdW vibrational modes.We have tentatively assigned all the observed spectral features.By analyzing the spectra,the stretching vibrational frequencies and two bending vibrational frequencies of the the complex are obtained.The structure of the complex has been obtained by ab initio computation method.     

积分球腔内BaTiO3：Ce晶体的自泵浦相位共轭增强现象的观测

报道了聚四氟乙烯积分球腔内光折变晶体ＢａＴｉＯ３：Ｃｅ在Ｈｅ－Ｎｅ激光作用下产生自泵浦相位共轭的增强现象，并对实验结果进行了分析。     

一种新型投影曝光调焦方法

为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差（OPD）和调制传递函数（MTF）的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深,根据景深表达式和系统最大离焦量值,选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统,并基于该调焦系统进行光刻实验。实验结果表明:利用该方法对投影成像光刻进行调焦,无论是否离焦,边缘视场与中心视场的MTF均有差异,分辨率也有差异,但这种差异不影响光刻图形的质量。     

基于菲涅尔偏振反射理论的消眩光分析与实验验证

以菲涅尔偏振反射理论为依据,将入射光进行电矢量分解,推导出影响眩光强度的偏振因子,并分析该因子在眩光消除中所起的主导作用.根据成像检测模型,推导出决定眩光位置和眩光区域大小的位移因子,并分析该因子在眩光消除中起的辅助作用.测量工业上某种工件在相同环境中不同条件下的图像,将所得图像数据进行抽样对比,得到在不同偏振和不同位置情况下的图像灰度变化曲线.分析灰度变化曲线与偏振及位置的关系,并对所提出的理论加以验证.结果表明眩光消除的本质是降低眩光区域与邻域区域之间的光强对比度,对位移因子和偏振因子的联合调动可实现对眩光几乎完全的消除.     

基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计

351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描。同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单,无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束,减少了能量损失。通过合理的假设和理论推算,依据管内最大反射次数就能适当地选取光波导管的长度,既保证了足够的反射次数以维持良好的均匀性,同时又避免了不必要的管长所带来的更多反射损耗。利用ZEMAX光学设计软件模拟和分析了由光波导管输出的照明光。结果表明,输出的六角形光束的相对光通量为96%,近似于平顶的能量分布,呈现出了极好的均匀性。     

非线性光子晶体的单向透射性

利用非线性时域有限差分方法(FDTD)对光从某些一维缺陷层掺杂克尔非线性介质的四分之一波长光子晶体的正反两个不同方向入射时对应的一般透射特性进行了数值分析.计算表明：一定频率范围及一定光强范围的光从非线性光子晶体的正向入射时,透射率是其从非线性光子晶体相反方向入射时的数倍,具有单向透射性,表现为全光二极管的行为.进一步对交替介质层由空气和金红石(TiO2)组成而非线性缺陷层由聚合物(polydiacetykene 9-BCMU)组成的光子晶体模型的透射特性进行了数值分析.在某一频率和强度附近,该模型的正向透射率是反向的6倍左右,表明其可作为一种全光二极管使用.