可编程光衰减器的设计方法

随着数据率的增加和比较大的中继器间距,对光纤传输系统的要求越来越严格,而且容限己经变得最小。特别是在光学方面的比较好的测试设备是很需要的,以用于测量和保证技术指标。同时,对高性能传输设备的要求也在迅速增长,必须建立生产能力和产生测试程序。为了满足这一要求,必须缩短测试时     

用时间-边界跟踪模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布

文章提出了时间一边界跟踪模型的定义,阐述了用该模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布的方法,并给出了模拟计算结果.     

应用激光二极管和全息元件的光学图象识别系统(英文)

在光学信息处理中,用匹配空间滤波器可以进行图象识别和定位的运算。全息光学元件(HOE)以及激光二极管的出现,使得研制结构紧凑而稳定的光学图象识别系统有了可能。这样的识别系统对航天和机载的应用有重要的意义。本文首次和比较全面地从理论和实验的角度论述了整个应用激光二极管和全息元件的图象识别系统。 该系统采用了无透镜匹配空间滤波器。这就是用全息透镜代替一般相关器中的第二傅里叶变换透镜,并且把它与匹配空间滤波器综合在一张全息干板上。结果,简化了系统的结构,提高了稳定性,避免了滤波器与第二傅里叶变换透镜相对位置的调整问题。 本文首先从理论的角度分析了这一系统的可行性,指出在输出平面可以获得相关结果,相关峰值位置对应于输入图象的相对位置(位移不变性),并且用实验证实了这一结果。由于参考光束有一定的倾斜角,综合在匹配滤波器上的实际是一个离轴全息透镜,轴外象差(特别是象散)应加以限制。本文列出了该系统三级象散的计算公式,用实例估算了象散的大小,说明只要合理选择系统参数,象差可控制在允许的范围内,保证输出相关亮点不致扩散。 目前的激光二极管发射的激光相干长度短,波长较长,功率不够大,所以只能用于相关识别,同时制作匹配滤波器还必须用常用的气体激光器。因而记录     

衰减相移掩模及其编码制作方法研究

在霍普金斯理论的基础上,对方孔的传统掩模、衰减相移以及加入光学邻近效应校正的衰减相移掩模在硅片表面光强分布的计算表明,衰减相掩模有提高光刻分辨率的显著功能,提出一种制作衰减相移掩模的编码方法。理论计算表明,该编码方法能够达到预定的衰减参数。     

全息光学元件的应用

全息光学元件(HOE)的制作方法与制作全息图一样,是用两束或多束相互干涉的光波产生干涉形成的衍射光学元件。HOE这个术语似乎也适用于条纹图形可用干涉方法或通过数字模拟产生的任何衍射光学元件,并且将用参考光束再现。设计全息光学元件的计算机程序,常将HOE作为折射率很高(近似等于100)且随波长变化折射率变化很大的薄透镜处理。     

无铬相移掩模光刻技术

本文论述了相移掩模(PSM)提高光刻分辨率的基本原理、主要类型、无铬PSM的制作方法,简述了曝光实验和实验结果.用NA=0.28的g线光刻机得到了0.5μm的实际分辨率.     

激光标记及其应用

本文比较详细地论述激光标记原理、标记方法、标记系统考虑以及激光标记在工业、民品诸方面的广泛应用。一、引言标记,就是在物体上标上诸如文字、数字、图案、商标等记号的过程和方法。标记有很多方法,传统的方法有刻字、盖橡皮章、模压和打钢印等。例如,在自行车上打上车号就是一种机械的标记方法。但由于机械冲击式标记使用范围有限,盖橡皮章等标记不能经久等原因,1970年渥太华的Lumonics