热等离子体射流温度与放电功率和气体流量的定标关系

利用氮系统的高温热力学函数C_p,m,结合热量计算公式及能量平衡关系,在理论上得到热平衡等离子体射流温度与放电功率和气体流量的定标关系。结果表明,该过程满足相似性原理,射流温度不是功率和流量的一般二元函数,而是比值P_eff/f 的一元函数。并对结果进行了相关的分析和讨论,为热等离子体的应用提供了参考数据。     

等离子体还原SiCl4一步法制备多晶硅实验研究

区别于改良西门子法、硅烷法、碳热还原法、区域熔炼法等多晶硅生产工艺,利用等离子体技术,建立了以硅的氯化物为原料,一步法制备多晶硅的实验装置和工艺流程,并在此基础上进行了粒状多晶硅制备的实验.实验表明,SiCl4单程转化率超过70;,多晶硅选择性60;.利用XRD、SEM、AS等分析手段,对所得产物进行了表征.与纯度为7个9的多晶硅标样的比较表明,实验产物达到了太阳能级.此方法为多晶硅生产极大地放宽了原料选择条件,为低成本生产太阳能级多晶硅提供了一种新的途径.