BaTiO3薄膜的制备及其在电光调制器的应用

BaTiO₃凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质，成为制备高性能电光调制器的关键材料。其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等，进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光比等性能。本文从电光调制器的工作原理出发，围绕BaTiO₃薄膜的制备方法、实验条件和薄膜衬底等，探讨了成膜的取向和质量的影响因素，分析了各个BaTiO₃薄膜制备方法的优缺点，论述了波导的结构及参数，并展望了未来优化BaTiO₃薄膜制备和波导制作工艺的方向。