BaTiO3薄膜的制备及其在电光调制器的应用 |
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引用本文: | 任怡静,马新国,张锋,陆晶晶,张力,王晗.BaTiO3薄膜的制备及其在电光调制器的应用[J].人工晶体学报,2023(4):688-700. |
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作者姓名: | 任怡静 马新国 张锋 陆晶晶 张力 王晗 |
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作者单位: | 湖北工业大学芯片产业学院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(51472081);;结构化学国家重点实验室科学基金(20210028); |
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摘 要: | BaTiO3凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质,成为制备高性能电光调制器的关键材料。其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等,进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光比等性能。本文从电光调制器的工作原理出发,围绕BaTiO3薄膜的制备方法、实验条件和薄膜衬底等,探讨了成膜的取向和质量的影响因素,分析了各个BaTiO3薄膜制备方法的优缺点,论述了波导的结构及参数,并展望了未来优化BaTiO3薄膜制备和波导制作工艺的方向。
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关 键 词: | BaTiO3薄膜 电光调制器 波导 电光系数 化学气相沉积法 分子束外延法 |
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