晶体硅金刚线切割废料制备高纯氮化硅

以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题。 通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(EDS)等技术手段研究了原料经HCl和HF酸洗净化后制备氮化产物的物相组成、组分质量分数和微观形貌的影响。 结果表明,HCl酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si₂N₂O和Si₃N₄,而HF酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si₃N₄。 氮化产物中Si₂N₂O的形成与切割废料中SiO₂的质量分数有关,降低原料中SiO₂的质量分数是切割废料经过高温氮化制得氮化硅的前提。